[发明专利]一种光寻址电位传感器蜂巢网状工作电极的制备方法

权利要求书

1.一种光寻址电位传感器蜂巢网状工作电极的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

步骤一：选用p型或者n型Si作为LAPS的衬底，衬底经去离子水、乙醇和丙酮超声清洗。

步骤二：将清洗后的硅片进行热氧化和化学气相沉积，形成厚度为50nm的SiO₂和厚度为50nm的Si₃N₄。

步骤三：将双面氧化氮化的硅片一面的SiO₂和Si₃N₄薄膜经49％的HF刻蚀从而漏出硅衬底。

步骤四：将刻蚀完后的硅片分别用去离子水、乙醇和丙酮超声清洗并浸入食人鱼溶液[H₂O₂(30％):H₂SO₄(98％)＝3:7,v/v]中90℃加热1个小时。

步骤五：将从食人鱼溶液中取出的硅片用去离子水清洗三次，氮气吹干，并储存在去离子水中备用。

步骤六：PS胶体悬浮液在使用前超声分散并稀释至1w.t.％。

步骤七：根据PS胶体球直径的大小分别以不同的体积比将PS胶体悬浮液与甲醇进行混合。混合的比例范围介于1：10和10：10之间。

步骤八：用移液枪将PS/甲醇混合液缓慢滴加到聚乙烯容器的气液界面。

步骤九：待整个体系静置10分钟后用移液枪沿着容器壁缓慢加入少量浓度为0.357mM的Triton X-100。此时PS胶体球聚合并迅速集中收缩形成单层膜。

步骤十：将硅片从去离子水中取出用被刻蚀的那一面以一定角度缓慢地捞起聚乙烯容器水面的PS胶体单层膜，在室温下干燥。

步骤十一：在干燥后的PS胶体单层膜上采用磁控溅射技术沉积Cr和Au薄膜。

步骤十二：将沉积了金属的硅片浸泡在二甲苯中超声1分钟去除胶体球模板。