[发明专利]一种抗反射涂料组合物及其应用

权利要求书

1.一种抗反射涂料组合物，其特征在于，所述涂料组合物包含1-20wt%的固含组分和80-99wt%的溶剂B；

其中，所述固含组分包括50-95wt%的消光树脂A、1～20wt%的催化剂C和3～40wt%的交联剂D；

所述消光树脂A由丙烯酸树脂和发色化合物制备得到，其重均分子量为6000~20000；

所述丙烯酸树脂的聚合单体包括含环氧基或羟基的丙烯酸酯单体A1；

所述A1与发色化合物的摩尔比为1：（0.8～1）；

所述催化剂C为有机酸盐；

所述交联剂D选自三聚氰胺-醛树脂、苯代三聚氰胺-醛树脂中的至少一种和甘脲-醛树脂、脲醛树脂中的至少一种组成的组；所述交联剂D中甘脲-醛树脂、脲醛树脂中的至少一种和三聚氰胺-醛树脂、苯代三聚氰胺-醛树脂中的至少一种的重量比为（1～9）：1。

2.根据权利要求1所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述丙烯酸树脂为至少一种丙烯酸酯单体聚合制备。

3.根据权利要求1所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述丙烯酸树脂为同一种丙烯酸酯单体的聚合物。

4.根据权利要求1所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述丙烯酸树脂为不同种丙烯酸酯单体的聚合物。

5.根据权利要求4所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述丙烯酸树脂为含环氧基或羟基的丙烯酸酯单体A1中的至少一种与含羟基的丙烯酸酯单体A2中的至少一种的聚合物，其中，所述A1和A2各不相同。

6.根据权利要求4所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述丙烯酸树脂为含环氧基或羟基的丙烯酸酯单体A1中的至少一种与不含羟基或环氧基的丙烯酸酯单体A3中的至少一种的聚合物。

7.根据权利要求5所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述A1和所述A2摩尔比为1：（0.1～5）。

8.根据权利要求6所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述A1和所述A3摩尔比为1：（0.1～5）。

9.根据权利要求1所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述发色化合物选自萘或其衍生物、蒽或其衍生物、香豆素或其衍生物、荧光素或其衍生物、罗丹明、曙红、苝或其衍生物、芴或其衍生物、茋或其衍生物、菲或其衍生物中的至少一种。

10.根据权利要求1所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述有机酸盐选自对甲苯磺酸盐、十二烷基苯磺酸盐、草酸盐、邻苯二甲酸盐、萘磺酸盐中的一种或多种。

11.一种根据权利要求1～10任意一项所述的抗反射涂料组合物在光刻工艺中的应用。