[发明专利]一种磁铁旋转靶枪在审
申请号: | 202011536353.5 | 申请日: | 2020-12-23 |
公开(公告)号: | CN112575304A | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 李伟 | 申请(专利权)人: | 长沙元戎科技有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 石家庄领皓专利代理有限公司 13130 | 代理人: | 张杏珍 |
地址: | 410300 湖南省长沙市浏阳市经济技术*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 磁铁 旋转 | ||
1.一种磁铁旋转靶枪,包括设置在靶枪腔体内的由上至下依次设置的靶材(1)、基板及磁控组件,所述磁控组件包括外圈磁铁(2)、设置在所述外圈磁铁(2)内侧的中心磁铁(3)及包覆所述外圈磁铁(2)和所述中心磁铁(3)的包覆层(4),其特征在于,增设了与所述磁控组件连接的驱动装置(5),所述驱动装置(5)驱动所述磁控组件转动或者往复移动,所述基板包括上板(6)及下板(7),所述上板(6)与所述下板(7)之间形成密封的冷却空腔(8),所述基板下方借助第一密封圈(9)与靶枪腔体形成密封连接。
2.根据权利要求1所述的磁铁旋转靶枪,其特征在于,所述上板(6)与所述下板(7)之间增设有第二密封圈(10),所述冷却空腔(8)内通冷却剂。
3.根据权利要求2所述的磁铁旋转靶枪,其特征在于,所述上板(6)为无氧铜,所述下板(7)为非导磁金属。
4.根据权利要求1或3所述的磁铁旋转靶枪,其特征在于,所述磁控组件与所述基板之间存在间距,间距为1~2mm。
5.根据权利要求1所述的磁铁旋转靶枪,其特征在于,所述靶材(1)和所述基板为圆形或者矩形,所述外圈磁铁(2)包括外轮廓部(11)和内凹部(12),所述内凹部(12)靠近所述中心磁铁(3)。
6.根据权利要求5所述的磁铁旋转靶枪,其特征在于,所述驱动装置(5)为电机或者电缸。
7.根据权利要求6所述的磁铁旋转靶枪,其特征在于,所述包覆层(4)为绝缘层。
8.根据权利要求7所述的磁铁旋转靶枪,其特征在于,所述包覆层(4)为聚四氟乙烯。
9.根据权利要求7所述的磁铁旋转靶枪,其特征在于,所述包覆层(4)为具有绝缘薄膜的金属层。
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