[发明专利]显影装置及其应用方法、显示面板在审

专利信息
申请号: 202011534501.X 申请日: 2020-12-23
公开(公告)号: CN112631088A 公开(公告)日: 2021-04-09
发明(设计)人: 杨威 申请(专利权)人: TCL华星光电技术有限公司
主分类号: G03F7/30 分类号: G03F7/30
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 刘泳麟
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 显影 装置 及其 应用 方法 显示 面板
【权利要求书】:

1.一种显影装置,其特征在于,包括:

显影腔室;

补水机构,具有至少一补水管以及设于所述补水管上的电子开关,所述补水管连通至所述显影腔室内;

传感器,安装至所述显影腔室的底部,所述传感器用以获取所述显影腔室的湿度;以及

控制器,所述传感器和所述补水机构的电子开关分别连接至所述控制器,当所述控制器从所述传感器获取所得的所述显影腔室的湿度低于第一预设值时,所述控制器控制所述电子开关打开,通过补水管向所述显影腔室补水;当所述控制器从所述传感器获取所得的所述显影腔室的湿度高于第二预设值时,所述控制器控制所述电子开关关闭,停止向所述显影腔室补水。

2.如权利要求1所述的显影装置,其特征在于,

所述传感器高出所述显影腔室的底部3~8毫米。

3.如权利要求1所述的显影装置,其特征在于,所述传感器具有指示灯,

当所述指示灯发出蓝色光线时,所述控制器控制所述电子开关打开,通过所述补水管向所述显影腔室内补水;

当所述指示灯发出红色光线时,所述控制器控制所述电子开关关闭,停止向所述显影腔室内补水。

4.如权利按要求1所述的显影装置,其特征在于,

所述显影腔室具有一入口,所述补水管的出水口设于所述显影腔室的入口的底部。

5.如权利按要求1所述的显影装置,其特征在于,

所述第一预设值为所述显影腔室中初始湿度的95%。

6.如权利要求1所述的显影装置,其特征在于,

所述第二预设值为所述显影腔室中初始湿度的105%。

7.一种显影装置的应用方法,其特征在于,包括以下步骤:

将一基板传入至如权利按要求1~6中任一项所述的显影装置的显影腔室内;

通过传感器检测所述显影腔室的湿度;

通过控制器控制补水机构中的电子开关,当所述控制器从所述传感器获取所得的所述显影腔室的湿度低于第一预设值时,所述控制器控制所述电子开关打开,通过补水管向所述显影腔室补水;当所述控制器从所述传感器获取所得的所述显影腔室的湿度高于第二预设值时,所述控制器控制所述电子开关关闭,停止向所述显影腔室补水;以及

对所述基板进行显影处理。

8.如权利要求7所述的显影装置的应用方法,其特征在于,通过传感器检测所述显影腔室的湿度包括以下步骤:

当所述传感器上的指示灯发出蓝色光线时,所述控制器控制所述电子开关打开,通过所述补水管向所述显影腔室补水;

当所述传感器上的指示灯发出红色光线时,所述控制器控制所述电子开关关闭,停止向所述显影腔室补水。

9.如权利要求7所述的显影装置的应用方法,其特征在于,

所述第一预设值为所述显影腔室初始湿度的95%;

所述第二预设值为所述显影腔室初始湿度的105%。

10.一种显示面板,其特征在于,其由如权利要求7~9中任一项所述的显影装置的应用方法制备而成。

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