[发明专利]一种微镜器件及投影设备

说明书

本申请公开了一种微镜器件及投影设备，涉及微镜技术领域，为解决相关技术中的微镜器件中的微反射镜单元占用空间较大的问题而发明。该微镜器件，包括安装面、支架、微反射镜以及驱动装置。所述安装座包括安装面，所述支架设置于所述安装面上，所述微反射镜相对所述安装面倾斜设置，且通过转轴与所述支架可转动连接，所述转轴设置于所述微反射镜的中心处，且与所述安装面相垂直，所述驱动装置被配置为驱动所述微反射镜相对所述支架旋转。本申请可用于投影设备中。

技术领域

本申请涉及微镜技术领域，尤其涉及一种微镜器件及投影设备。

背景技术

微镜器件是一种MEMS(微机电系统)器件，其基本原理是通过驱动力使可以活动的微镜面发生转动，从而改变输入光的传播方向或相位。微镜器件已经广泛用于光通讯中的光交换、光谱分析仪器和投影成像等各种领域。

发明内容

本申请的实施例提供一种微镜器件及投影设备，用于解决相关技术中的微镜器件中的微反射镜单元占用空间较大的问题。

为达到上述目的，第一方面，本申请实施例提供了一种微镜器件，包括安装面、支架、微反射镜以及驱动装置。所述安装座包括安装面。所述支架设置于所述安装面上。所述微反射镜相对所述安装面倾斜设置，且通过转轴与所述支架可转动连接，所述转轴设置于所述微反射镜的中心处，且与所述安装面相垂直。所述驱动装置被配置为驱动所述微反射镜相对所述支架旋转。

第二方面，本申请实施例提供了一种投影设备，包括投影镜头、投影光源以及第一方面中所述的微镜器件，所述微镜器件的微反射镜被配置为将所述投影光源所发出的光束反射至所述投影镜头中或者反射至所述投影镜头之外。

本申请实施例提供的微镜器件及投影设备，由于微反射镜通过转轴可转动设置于支架上，转轴设置于微反射镜的中心处，且与安装面相垂直，也就是：支架是位于微反射镜与安装面之间，这样支架就可以充分地利用微反射镜与安装面之间的空间，大大减少了对微反射镜外围空间的占用，从而有利于减小微反射镜单元在安装面上的占用空间，进而就可以增加安装座上微反射镜单元的设置的数目，而微反射镜单元数目的增加，则有利于提高投影设备所投射画面的质量。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一些实施例中的投影设备的原理图；

图2为相关技术中的一种微镜器件的结构示意图；

图3为本申请一些实施例中的微镜器件的结构示意图；

图4为图3所示的微镜器件的侧视图；

图5为本申请一些实施例中的微反射镜单元的结构示意图；

图6为图5的纵向剖面视图；

图7为本申请一些实施例中支架的结构的示意图；

图8为本申请一些实施例中驱动装置在安装座以及微反射镜上设置位置示意图；

图9为本申请一些实施例中微镜电极、安装座电极结构示意图；

图10为本申请另一些实施例中微镜电极、安装座电极结构示意图；

图11为本申请另一些实施例中微镜电极、安装座电极结构示意图；

图12为本申请另一些实施例中微镜电极、安装座电极结构示意图。

具体实施方式