[发明专利]气体传感器自动标定方法及装置

权利要求书

1.一种气体传感器自动标定方法，其特征在于，包括以下步骤：

读取标准传感器的点检值，将标准传感器的点检值作为传感器标定工装内目标气体基准浓度值；

读取主采样点的目标气体初始浓度值及目标气体实时浓度值，并根据不同的标定类型选取不同的配气策略进行自动配气：

若标定类型为量程标定，则在所述目标气体基准浓度值与所述目标气体初始浓度值之间的差值大于第一预设浓度阈值时，对目标气体的传输流量进行粗调，在所述目标气体基准浓度值与所述目标气体实时浓度值之间的差值小于等于第一预设浓度阈值时，对目标气体的传输流量进行细调，并在所述目标气体实时浓度值大于所述目标气体基准浓度值时，对氮气的传输流量进行细调；

若标定类型为零点标定，则在所述目标气体基准浓度值与所述目标气体初始浓度值之间的差值大于第二预设浓度阈值时，对氮气的传输流量进行粗调，在所述目标气体基准浓度值与所述目标气体实时浓度值之间的差值小于等于第二预设浓度阈值时，对氮气的传输流量进行细调，并在所述目标气体实时浓度值小于所述目标气体基准浓度值时，对目标气体的传输流量进行细调；

在配气完成后，判断所述目标气体实时浓度值是否等于所述目标气体基准浓度值；若所述目标气体实时浓度值等于所述目标气体基准浓度值，则获取传感器标定工装内各个采样点的目标气体实时浓度值，基于各个采样点的目标气体实时浓度值的一致性判断传感器标定工装内目标气体的均匀度是否合格；若传感器标定工装内目标气体的均匀度合格，则对待标定传感器进行标定。

2.根据权利要求1所述的气体传感器自动标定方法，其特征在于，对目标气体的传输流量进行粗调时，执行：

在所述目标气体初始浓度值小于等于预设浓度值A1时，启动质量流量控制器Ⅰ，将所述质量流量控制器Ⅰ的实时流量调整为B1；在所述目标气体实时浓度值大于预设浓度值A1且小于等于预设浓度值A2时，将所述质量流量控制器Ⅰ的实时流量调整为B2；在所述目标气体实时浓度值大于预设浓度值A2且小于等于预设浓度值A3时，将所述质量流量控制器Ⅰ的实时流量调整为B3；

其中，所述预设浓度值A1＜所述预设浓度值A2＜所述预设浓度值A3，实时流量B1＞实时流量B2＞实时流量B3。

3.根据权利要求2所述的气体传感器自动标定方法，其特征在于，对目标气体的传输流量进行细调，执行：

在所述目标气体实时浓度值大于等于所述预设浓度阈值A3且小于等于预设浓度值A4时，关闭所述质量流量控制器Ⅰ，开启所述质量流量控制器Ⅱ，并将所述质量流量控制器Ⅱ的实时流量调整为C1；在所述目标气体实时浓度值大于预设浓度值A4且小于等于所述目标气体基准浓度值时，将所述质量流量控制器Ⅱ的实时流量调整为C2；

其中，所述预设浓度值A3＜所述预设浓度值A4＜所述基准浓度值，实时流量C1＞实时流量B2。

4.根据权利要求1所述的气体传感器自动标定方法，其特征在于：对氮气的传输流量进行粗调时，执行：

在所述目标气体初始浓度值大于等于预设浓度值A1’时，启动质量流量控制器Ⅰ’，将所述质量流量控制器Ⅰ’的实时流量调整为B1’；在所述目标气体实时浓度值小于预设浓度值A1’且大于等于预设浓度值A2’时，将所述质量流量控制器Ⅰ’的实时流量调整为B2’；在所述目标气体实时浓度值小于预设浓度值A2’且大于等于预设浓度值A3’时，将所述质量流量控制器Ⅰ’的实时流量调整为B3’；

其中，所述预设浓度值A1’＞所述预设浓度值A2’＞所述预设浓度值A3’，实时流量B1’＞实时流量B2’＞实时流量B3’。

5.根据权利要求4所述的气体传感器自动标定方法，其特征在于，对氮气的传输流量进行细调，执行：

在所述目标气体实时浓度值小于所述预设浓度阈值A3’且大于等于预设浓度值A4’时，关闭所述质量流量控制器Ⅰ’，开启所述质量流量控制器Ⅱ’，并将所述质量流量控制器Ⅱ’的实时流量调整为C1’；在所述目标气体实时浓度值小于预设浓度值A4’且大于等于所述目标气体基准浓度值时，将所述质量流量控制器Ⅱ’的实时流量调整为C2’；

其中，所述预设浓度值A3’＞所述预设浓度值A4’＞所述基准浓度值，实时流量C1’＞实时流量B2’。