[发明专利]一种基于激光干涉成像检测疏松体的系统在审
申请号: | 202011520273.0 | 申请日: | 2020-12-21 |
公开(公告)号: | CN112595720A | 公开(公告)日: | 2021-04-02 |
发明(设计)人: | 邓重辉 | 申请(专利权)人: | 藤仓烽火光电材料科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/01 |
代理公司: | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人: | 邱云雷 |
地址: | 430205 湖北省武汉*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 激光 干涉 成像 检测 疏松 系统 | ||
本申请涉及一种基于激光干涉成像检测疏松体的系统,涉及光纤预制棒生产技术领域,其包括激光发生器、分束镜、扩束机构和检测机构;其中,激光发生器用于周期性地发出激光光束;分束镜用于将激光发生器发出的激光光束分成检测光束与参考光束,并将检测光束和参考光束分别传输至扩束机构和检测机构;扩束机构用于将检测光束进行扩束,并射向疏松体上的预设的检测区域内;检测机构用于接收疏松体反射的检测光束,以使检测光束与参考光束产生干涉,并生成干涉图像;且检测机构还用于根据干涉图像,判断检测区域内的疏松体是否产生缺陷。
技术领域
本申请涉及光纤预制棒生产技术领域,特别涉及一种基于激光干涉成像检测疏松体的系统。
背景技术
目前,在光纤预制棒生产行业,棒外化学汽相沉积法OVD(Outside ChemicalVapour Deposition)制作光棒外包层工艺仍然是主流技术。沉积过程中其主要原料掺杂剂以气态形式送入氢氧火焰喷灯,使之在氢氧焰中水解,生成石英玻璃微粒粉尘,然后经喷灯喷出,沉积于石英材料制作的母棒外表面,经过多次沉积形成一定尺寸的多孔粉尘预制棒。制造过程中,根据特定的工艺要求,对氢氧气、四氯化硅原料流量等工艺技术有直接影响的参数进行探索,选择适当的沉积密度是工艺难点之一,如果沉积密度过小,疏松体锥部容易开裂,造成产品报废。
相关技术中,检测疏松体开裂仅依靠沉积过程中疏松体的重量变化及作业人员检查确认来发现,若出现较小的裂纹而未出现严重的剥落情况时裂纹又会被多次的沉积给覆盖,待到烧结完成后才发现工艺不良,会导致整根光棒报废的情况出现,造成较大的人力物力浪费。
发明内容
本申请实施例提供一种基于激光干涉成像检测疏松体的系统,以解决相关技术中由于无法及时发现较小裂纹,待到烧结完成后才发现工艺不良,导致整根光棒报废,造成较大的人力物力浪费的问题。
第一方面,提供了一种基于激光干涉成像检测疏松体的系统,其包括激光发生器、分束镜、扩束机构和检测机构;其中,
所述激光发生器用于周期性地发出激光光束;
所述分束镜用于将所述激光发生器发出的激光光束分成检测光束与参考光束,并将所述检测光束和所述参考光束分别传输至所述扩束机构和所述检测机构;
所述扩束机构用于将所述检测光束进行扩束,并射向疏松体上的预设的检测区域内;
所述检测机构用于接收所述疏松体反射的检测光束,以使所述检测光束与所述参考光束产生干涉,并生成干涉图像;且所述检测机构还用于根据所述干涉图像,判断所述检测区域内的疏松体是否产生缺陷。
一些实施例中,所述扩束机构包括第一扩束镜和第一驱动器,所述第一驱动器与所述第一扩束镜相连,并用于驱动所述第一扩束镜转动,改变经过所述第一扩束镜的检测光束的覆盖范围,并使所述覆盖范围不小于所述检测区域的大小。
一些实施例中,该系统还包括控制器,所述控制器与所述第一驱动器连接,并用于通过所述第一驱动器控制所述第一扩束镜的转动角度。
一些实施例中,该系统还包括第二扩束镜和第二驱动器,所述第二驱动器与所述第二扩束镜相连,并用于驱动所述第二扩束镜转动,以改变所述参考光束的覆盖范围。
一些实施例中,所述控制器还与所述第二驱动器连接,并用于通过所述第二驱动器控制所述第二扩束镜的转动角度,以使所述第二扩束镜的转动角度与所述第一扩束镜的转动角度相等。
一些实施例中,所述分束镜具有透射面和反射面,所述透射面用于将所述激光发生器发出的激光光束中的一部分透射至所述扩束机构,且该部分光束为检测光束;所述反射面用于将所述激光光束中的剩余部分反射至所述检测机构,且该部分为参考光束。
一些实施例中,该系统还包括反射镜,所述反射镜用于将所述分束镜射出的参考光束反射至所述检测机构。
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