[发明专利]一种晶圆传输装置及传输方法

权利要求书

1.一种采用晶圆传输装置进行晶圆传输的方法，其特征在于，所述晶圆传输装置包括用于晶圆加工的工艺腔、用于晶圆中转的搬运腔和用于存储晶圆的装载腔；其中，所述搬运腔位于所述装载腔和工艺腔之间；所述搬运腔保持低真空状态，所述装载腔与外界连通时，保持大气状态，所述装载腔与搬运腔连通时，保持低真空状态；

所述装载腔包括第一排气回路、位于第一排气回路上的阶梯阀Ⅰ、第一供气回路、位于第一供气回路上的阶梯阀Ⅲ；所述搬运腔包括第二排气回路、位于第二排气回路上的阶梯阀Ⅱ、第二供气回路、位于第二供气回路上的阶梯阀Ⅳ；所述阶梯阀Ⅰ、阶梯阀Ⅱ、阶梯阀Ⅲ和阶梯阀Ⅳ至少包括半开、全开和关闭三种状态；

当搬运腔的腔门关闭时，所述阶梯阀Ⅳ处于半开状态，使得搬运腔内供气和排气达到平衡，保持低真空状态；当搬运腔的腔门打开时，所述阶梯阀Ⅳ处于全开状态，使得搬运腔内供气和排气达到平衡，保持低真空状态；

搬运腔始终处于低真空状态，当搬运腔与装载腔或者工艺腔连通时，控制中心控制阶梯阀Ⅳ全开，使得搬运腔内供气和排气达到平衡，保持低真空状态；当搬运腔的腔门关闭，控制中心控制阶梯阀Ⅳ半开，使得搬运腔内供气和排气达到平衡，保持低真空状态；

当装载腔由大气状态转变为低真空状态时，控制中心控制阶梯阀Ⅰ半开，实现慢速排气，直至所述装载腔中真空压力达到第一预设压力时，控制阶梯阀Ⅰ切换为全开，实现快速排气，直至所述装载腔处于低真空状态；所述第一预设压力大于低真空状态压力；

当装载腔由真空状态转变为大气状态时，控制中心控制阶梯阀Ⅲ半开，实现慢速给气，直至所述装载腔中真空压力达到第二预设压力时，控制阶梯阀Ⅲ全开，实现快速给气，直至所述装载腔处于大气状态；所述第二预设压力大于低真空状态压力且小于大气状态压力。

2.根据权利要求1所述的晶圆传输的方法，其特征在于，第一排气回路和第二排气回路的另一端连接同一个真空泵，当晶圆从传输装置外侧传输至工艺腔时；具体包括如下步骤：

S01：对搬运腔进行抽真空处理：控制中心控制阶梯阀Ⅱ全开，控制阶梯阀Ⅰ关闭，直至搬运腔达到低真空状态；此时所述搬运腔腔门关闭，控制中心控制阶梯阀Ⅱ切换为半开，控制阶梯阀Ⅳ半开，使得搬运腔内供气和排气达到平衡，保持低真空状态；

S02：装载腔处于大气状态，将晶圆从外界传输至装载腔中；

S03：装载腔由大气状态转变为低真空状态：控制中心控制阶梯阀Ⅱ和阶梯阀Ⅲ关闭，使得所述搬运腔保持低真空状态；控制中心控制阶梯阀Ⅰ半开，实现慢速排气，直至所述装载腔中真空压力达到第一预设压力时，控制阶梯阀Ⅰ切换为全开，实现快速排气，直至所述装载腔处于低真空状态；

控制中心控制阶梯阀Ⅰ关闭，使得所述装载腔保持低真空状态；同时控制中心控制阶梯阀Ⅱ和梯阀Ⅳ半开，使得搬运腔内供气和排气达到平衡，保持低真空状态；

S04：装载腔和搬运腔连通，使得装载腔中晶圆传输至搬运腔中，此时，控制中心控制阶梯阀Ⅳ全开，使得搬运腔内供气和排气达到平衡，保持低真空状态；当晶圆传输完成后，搬运腔的腔门关闭，控制中心控制阶梯阀Ⅳ半开，使得搬运腔内供气和排气达到平衡，保持低真空状态；

S05：搬运腔和工艺腔连通，使得搬运腔中晶圆传输至工艺腔中；控制中心控制阶梯阀Ⅳ全开，使得搬运腔内供气和排气达到平衡，保持低真空状态；当晶圆传输完成后，搬运腔的腔门关闭，控制中心控制阶梯阀Ⅳ半开，使得搬运腔内供气和排气达到平衡，保持低真空状态；

S06：装载腔由真空状态转变为大气状态：控制中心控制阶梯阀Ⅲ半开，实现慢速给气，直至所述装载腔中真空压力达到第二预设压力时，控制阶梯阀Ⅲ全开，实现快速给气，直至所述装载腔处于大气状态；将传输装置外侧的晶圆传输至装载腔中；

S07：重复步骤S02-S06，实现晶圆从传输装置外侧至工艺腔中的传输。