[发明专利]设备应用监控方法、半导体工艺设备

说明书

本申请实施例提供了设备应用监控方法、半导体工艺设备，该方法包括：获取设备应用的监控数据，监控数据包括：监控时间段内的每一个子时间段的输入输出量和硬件资源消耗量；对于每一个子时间段，在子时间段满足预警条件的情况下，生成子时间段对应的预警信息和子时间段对应的第一接口调用概率分布信息；显示子时间段对应的预警信息和第一接口调用概率分布信息。本申请实施例提供的技术方案可以自动对设备应用进行监控，降低确定设备应用在代码设计上的问题的成本，以及提升确定设备应用在代码设计上的问题的准确性。

技术领域

本申请涉及半导体制造领域，具体涉及一种设备应用监控方法、半导体工艺设备。

背景技术

在半导体工艺设备进行作业的过程中，需要通过设备应用控制半导体工艺设备进行工艺的过程。目前，通常是在设备应用的代码设计存在问题时，由开发人员人工根据设备应用的运行日志中记录的相关信息，确定设备应用在代码设计上的问题。一方面，设备应用的代码量大，以人工方式确定设备应用在代码设计上的问题的成本高。另一方面，由于没有任何与设备应用的代码设计可能存在的问题相关的信息可以提供给用户帮助用户发现设备应用在代码设计上的问题，用户只能依靠经验确定设备应用在代码设计上的问题，导致确定设备应用在代码设计上的问题的准确性较低。

发明内容

本申请提供一种设备应用监控方法、半导体工艺设备。

根据本申请实施例的第一方面，提供一种设备应用监控方法，应用于半导体工艺设备，包括：

获取设备应用的监控数据，监控数据包括：监控时间段内的每一个子时间段的输入输出量和硬件资源消耗量；

对于每一个子时间段，在子时间段满足预警条件的情况下，生成子时间段对应的预警信息和子时间段对应的第一接口调用概率分布信息，其中，预警条件包括以下至少之一：子时间段的输入输出量大于或等于第一阈值、子时间段的硬件资源消耗量大于或等于第二阈值，第一接口调用概率分布信息指示每一个在子时间段内被调用的接口在子时间段内的调用次数占据子时间段对应的接口调用总次数的比例；

显示子时间段对应的预警信息和第一接口调用概率分布信息。

根据本申请实施例的第二方面，提供一种半导体工艺设备，包括：

获取单元，被配置为获取设备应用的监控数据，监控数据包括：监控时间段内的每一个子时间段的输入输出量和硬件资源消耗量；

资源消耗预警单元，被配置为对于每一个子时间段，在子时间段满足预警条件的情况下，生成子时间段对应的预警信息和子时间段对应的第一接口调用概率分布信息，其中，预警条件包括以下至少之一：子时间段的输入输出量大于或等于第一阈值、子时间段的硬件资源消耗量大于或等于第二阈值，第一接口调用概率分布信息指示每一个在子时间段内被调用的接口在子时间段内的调用次数占据子时间段对应的接口调用总次数的比例；

显示单元，被配置为显示子时间段对应的预警信息和第一接口调用概率分布信息。

本申请实施例提供的设备应用监控方法、半导体工艺设备，通过子时间段对应的预警信息可以提示用户在设备应用的运行过程中，子时间段的输入输出量异常和/或硬件资源消耗量异常，以提醒用户确定设备应用在代码设计上的问题。子时间段对应的第一接口调用概率分布信息使得用户可以了解在输入输出量异常和/或硬件资源消耗量异常的子时间段内每一个被调用的接口的调用情况，以便用户发现设备应用在代码设计上的问题，对设备应用的代码进行改进。上述技术方案可以自动对设备应用进行监控，相比于以人工方式根据经验确定设备应用在代码设计上的问题，降了低确定设备应用在代码设计上的问题的成本，提升了确定设备应用在代码设计上的问题的准确性。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。

图1示出了本申请实施例提供的设备应用监控方法的流程图；