[发明专利]图案着色方法、电子设备和计算机可读存储介质

说明书

本文描述了图案着色方法、电子设备和计算机可读存储介质。在此描述的图案着色方法包括：基于在版图中的图案之间的距离，将版图中包括的多个图案划分到多个子网络之中；将各个子网络内彼此耦合的两个图案以不同颜色着色；以及将彼此耦合的两个子网络之间彼此耦合的两个图案以相同颜色着色。

技术领域

本公开的实施例一般地涉及半导体技术领域，并且更具体地涉及图案着色方法、电子设备和计算机可读存储介质。

背景技术

随着集成电路中的图案之间的距离减小，版图中的图案发生冲突的可能性增加。多重图案化技术是解决图案冲突的有效手段之一。多重图案化技术涉及将版图中的图案拆解为两个或更多个光掩膜中的图案。这种拆解涉及图案的着色。将两个图案以不同的颜色着色意味着这两个图案将被拆解到不同的光掩膜，并且将两个图案以相同的颜色着色意味着这两个图案将被布置到同一光掩膜。

完整的图案可以被分解成两个图案部分，并且这两个图案部分可以利用重叠区域被缝合或耦合。如果通过重叠区域耦合断开的这两个图案部分的链接是可选链接，这意味着这两个图案部分可以以不同的颜色着色或者以相同的颜色着色，以便在将整个图案着色时帮助避免出现着色冲突。

期望提供用于着色图案的改进方案，以基于成本避免颜色冲突的优化。

发明内容

本公开的实施例提供了图案着色方法、电子设备和计算机可读存储介质，其能够减小以不同颜色着色的图案的缝合，以在成本方面优化图案的着色。

在第一方面，提供了一种图案着色方法。该方法包括：基于在版图中的图案之间的距离，将版图中包括的多个图案划分到多个子网络之中；将各个子网络内彼此耦合的两个图案以不同颜色着色；以及将彼此耦合的两个子网络之间彼此耦合的两个图案以相同颜色着色。

在一些实施例中，将版图中包括的多个图案划分到多个子网络之中包括：如果第一图案与第二图案之间的端到端距离小于或等于规格值，将所述第一图案和所述第二图案划分到相同子网络之中；以及如果第一图案与第二图案之间的端到端距离大于所述规格值，将所述第一图案和所述第二图案划分到不同子网络之中。

在一些实施例中，将各个子网络内彼此耦合的两个图案以不同颜色着色包括：将每个子网络中的彼此耦合的每两个图案以不同的第一颜色和第二颜色着色。

在一些实施例中，将彼此耦合的两个子网络之间彼此耦合的两个图案以相同颜色着色包括：如果彼此耦合的第一子网络中的第三图案和第二子网络中的第四图案以不同颜色被着色，更改所述第二子网络中的所有图案的着色，使得所述第四图案以与所述第三图案相同的颜色被着色，并且所述第二子网络中的彼此耦合的两个图案以不同颜色被着色。

在一些实施例中，将彼此耦合的两个子网络之间彼此耦合的两个图案以相同颜色着色包括：如果彼此耦合的第一子网络中的第三图案和第二子网络中的第四图案以相同颜色被着色，保持所述第二子网络中的所有图案的着色，使得所述第四图案以与所述第三图案相同的颜色被着色。

在一些实施例中，更改所述第二子网络中的所有图案的着色包括：翻转所述第二子网络中的所有图案的着色，使得所述第四图案的着色从第三颜色改变为第四颜色，并且与所述第四图案耦合的第五图案的着色从所述第四颜色改变为所述第三颜色。

在一些实施例中，将版图中包括的多个图案划分到多个子网络之中包括：利用广度优先搜索，将彼此之间的距离小于或等于规格值的两个图案划分到相同子网络中，并且将彼此之间的距离大于所述规格值的两个图案划分到不同子网络中。

在一些实施例中，所述多个图案基于双重图案化技术以两个不同颜色被着色。

在第二方面，提供了一种电子设备。该电子设备包括：处理单元；存储器，耦合至所述处理单元并且包括存储于其上的程序，所述程序在由所述处理单元执行时使所述电子设备执行所述方法。