[发明专利]电子束检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种电子束检测装置，包括：

一多孔碳材料层，所述多孔碳材料层具有一通孔贯穿其厚度方向，该通孔的横截面积小于等于待测电子束的横截面积，该多孔碳材料层由多个碳材料颗粒组成，该多个碳材料颗粒之间存在纳米级或微米级间隙；

一法拉第杯，该法拉第杯设置于所述多孔碳材料层下方，该法拉第杯具有一开口，该开口与所述碳纳米管多孔层的通孔贯通设置；以及

一图像显示器，该图像显示器与所述多孔碳材料层电连接，该图像显示器根据多孔碳材料层中产生的电荷多少形成颜色不同的图像，根据图像显示器中图像的颜色得到待测电子束的图像。

2.如权利要求1中所述的电子束检测装置，其特征在于，所述碳材料颗粒包括碳纳米管、碳纤维、碳纳米线、碳微米球或碳纳米球中的一种或多种。

3.如权利要求1中所述的电子束检测装置，其特征在于，所述多孔碳材料层为碳纳米管阵列或者碳纳米管网络结构。

4.如权利要求3中所述的电子束检测装置，其特征在于，所述碳纳米管网络结构为一碳纳米管海绵体、碳纳米管膜状结构、碳纳米管纸或者由多个碳纳米管线编织或缠绕在一起形成的网络结构。

5.如权利要求1中所述的电子束检测装置，其特征在于，进一步包括一基板，该基板具有一基板通孔，所述多孔碳材料层设置在该基板的表面，且所述多孔碳材料层的通孔、基板通孔以及法拉第杯的开口贯通设置。

6.如权利要求5中所述的电子束检测装置，其特征在于，所述多孔碳材料层为超顺排碳纳米管阵列，该超顺排碳纳米管阵列中碳纳米管的延伸方向垂直于所述基板的表面。

7.如权利要求1中所述的电子束检测装置，其特征在于，所述多孔碳材料层中通孔之外的碳材料颗粒部分为一电子黑体，该碳材料颗粒部分对电子的吸收率达到99.99％以上。

8.如权利要求1中所述的电子束检测装置，其特征在于，进一步包括一电表，该电表包括一第一接线柱和第二接线柱，该第一接线柱与所述多孔碳材料层电连接，该第二接线柱接地。

9.一种电子束检测方法，包括以下步骤：

步骤S1，提供所述权利要求1～8中任一项的电子束检测装置；

步骤S2，使所述待测电子束相对于所述多孔碳材料层移动；以及

步骤S3，观察所述图像显示器中的图像，根据图像的颜色得到待测电子束的图像。

10.如权利要求9中的电子束检测方法，其特征在于，步骤S2中，通过移动待测电子束，使得待测电子束对所述多孔碳材料层进行二维扫描，所述待测电子束的运动轨迹为多个平行线。