[发明专利]一种石英承载装置

说明书

本发明公开了一种石英承载装置，包括两个支撑板和若干石英棒，支撑板上设有横向通槽，横向通槽包括顶壁和底壁，底壁上设有若干下夹槽，下夹槽中设有下橡胶阻尼片，横向通槽内设有压板，压板的底部设有若干上夹槽，上夹槽中设有上橡胶阻尼片，顶壁和压板之间连接有压缩弹簧，石英棒的端部插入横向通槽中，石英棒的端部夹紧于对应的上橡胶阻尼片和下橡胶阻尼片之间；石英棒上设有若干组电子片材定位组件，若干组电子片材定位组件沿石英棒的周向均布，每组电子片材定位组件包括若干定位块，相邻两个定位块之间形成电子片材定位槽，且若干组电子片材定位组件中电子片材定位槽的槽宽各不相同。本发明一种石英承载装置，可承载不同尺寸规格的电子片材。

技术领域

本发明涉及一种石英承载装置。

背景技术

石英材料具有良好的物理及化学稳定性，普遍应用于半导体制造与加工行业中各种耐高温、耐腐蚀器具的制造。石英承载装置是用于承载电子片材的装置，现有技术中的石英承载装置根据所需承载电子片材的尺寸进行定制，定制出来的石英承载装置往往只能适应一种规格的电子片材，当电子片材规格不同时，需要更换石英承载装置对电子片材进行承载，这样就造成了成本的提高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种石英承载装置，其结构合理，可承载不同尺寸规格的电子片材，从而提高石英承载装置的实用性。

为实现上述目的，本发明的技术方案是设计一种石英承载装置，包括两个支撑板，以及连接在两个支撑板之间的若干个石英棒，所述若干个石英棒在两个支撑板之间形成用于容纳电子片材的支架区；所述支撑板上设有供石英棒插入的横向通槽，所述横向通槽包括顶壁和底壁，所述底壁上设有若干个下夹槽，各下夹槽呈圆弧形，且各下夹槽中设有呈圆弧形的下橡胶阻尼片，所述横向通槽内设有压板，该压板的底部设有与下夹槽一一对应的若干个上夹槽，各上夹槽呈圆弧形，且各上夹槽位于对应下夹槽的正上方，所述上夹槽中设有呈圆弧形的上橡胶阻尼片，所述顶壁上设有两个弹簧安装孔，各弹簧安装孔中安装有压缩弹簧，该压缩弹簧竖直设置，且该压缩弹簧的下端贯穿弹簧安装孔的开口并与压板固定连接，所述石英棒的端部插入横向通槽中，且石英棒的端部夹紧于对应的上橡胶阻尼片和下橡胶阻尼片之间；所述石英棒上设有若干组电子片材定位组件，该若干组电子片材定位组件沿石英棒的周向均布，每组所述电子片材定位组件包括若干个定位块，该若干个定位块沿石英棒的轴向等间距布置，相邻两个所述定位块之间形成电子片材定位槽，且若干组所述电子片材定位组件中电子片材定位槽的槽宽各不相同。

优选的，所述石英棒的端部沿轴向延伸形成位于支撑板外侧的旋转头。

优选的，所述石英棒的外壁沿径向延伸形成位于支撑板内侧的限位挡环。

优选的，所述石英棒上的电子片材定位组件的数量为四个。

优选的，所述石英棒的数量为三个，该三个石英棒分别为一个底部支撑石英棒和两个侧部支撑石英棒，所述两个侧部支撑石英棒分别位于底部支撑石英棒的上方两侧。

优选的，所述若干个下夹槽沿横向等间距布置。

本发明的优点和有益效果在于：提供一种石英承载装置，其结构合理，可承载不同尺寸规格的电子片材，从而提高石英承载装置的实用性。