[发明专利]基于下转换发光的日盲紫外探测器、制备方法和探测相机在审

专利信息
申请号: 202011487985.7 申请日: 2020-12-16
公开(公告)号: CN112599550A 公开(公告)日: 2021-04-02
发明(设计)人: 粘伟;唐义;丁明烨;苏云;郑国宪;单瑞*;董联庆;杨立欣 申请(专利权)人: 北京空间机电研究所
主分类号: H01L27/148 分类号: H01L27/148;H01L27/146;H01L31/09
代理公司: 中国航天科技专利中心 11009 代理人: 徐晓艳
地址: 100076 北京市丰*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 基于 转换 发光 紫外 探测器 制备 方法 探测 相机
【说明书】:

发明涉及基于下转换发光的日盲紫外探测器、制备方法和探测相机。所述日盲紫外探测器通过采用热蒸发法镀膜技术,将粉末状下转换纳米材料在可见光CCD芯片感光面形成一层均匀纳米薄膜,实现直接耦合,通过纳米薄膜吸收日盲段紫外光发射可见光的特性,从而实现高效的紫外光探测,有效解决天基紫外预警探测器面阵小、量子效率低的问题。

技术领域

本发明属于天基紫外预警领域,涉及基于下转换发光的日盲紫外探测器、制备方法和探测相机。

背景技术

紫外预警是天基预警的重要发展方向,相对红外预警具有虚警率和误警率低、无需制冷、系统简单、可有效抵抗激光武器致盲等优势。紫外探测器作为紫外预警系统中不可缺少器件,它的发展主要经历了三个阶段:第一阶段以紫外光电倍增管为代表,第二阶段为Si基紫外探测器,第三阶段为宽禁带半导体材料。受限于技术成熟度与使用条件,目前天基紫外预警并无有效的紫外探测器件,所用探测器均为光电倍增管形式,工作条件是真空、高压。常用的典型结构如图1所示,主要由入射窗、光电阴极、微通道板MCP、荧光屏、耦合光纤、可见光CMOS共6个部分组成。基本工作原理为:从入射窗入射的光子照射到光电阴极上,按一定的量子转换效率转化为光电子,在加速电场的作用下光电子进入MCP进行倍增,然后聚焦到荧光屏激发出可见光,通过光纤光锥将图像耦合到可见光CMOS上,最后由电子线路读出,完成从入射光到电子图像的转换。

上述探测器组件的优点是稳定性好、响应速度快,暗电流低、电流增益高。但这种探测器组件体积大、功耗大、价格高,必须使用光学窗口材料和滤光片,且量子效率只有10%-20%。

发明内容

本发明解决的技术问题是:克服现有技术的不足,提供基于下转换发光的日盲紫外探测器、制备方法和探测相机,解决天基紫外预警无有效探测器面阵小、量子效率低的问题。

本发明解决技术的方案是:一种基于下转换发光的日盲紫外探测器,该紫外探测器包括可见光CCD、下转换纳米材料薄膜,下转换纳米材料薄膜沉积在可见光CCD感光面上;

下转换纳米材料,用于实现日盲紫外谱段到可见光谱段的转换;

可见光CCD,为响应谱段为可见光谱段的探测器件,用于响应可见光,输出与可见光强度相对应的电流信号。

所述下转换纳米材料为稀土掺杂氟化物纳米材料。

所述下转换材料以Ce3+作为敏化剂,Tb3+作为发光离子,β-NaYF4为基体,三者按照1:2:4的离子浓度比例,利用溶剂热法进行纳米合成。

所述下转换材料薄膜具有宽带激发,窄带发射特性,激发波长范围为215nm~275nm,峰值在248nm;发射波长有四个峰值分别为485nm,542nm,581nm和621nm。

所述下转换材料薄膜的厚度取值范围是30nm到800nm。

所述下转换材料薄膜通过热蒸发法的方式沉积在可见光CCD感光面。

本发明提供的另一个技术方案是:上述基于下转换发光的日盲紫外探测器的制备方法,包括如下步骤:

S1、拆除可见光CCD的感光面窗口,可见光CCD器件的感光面裸露在外面;

S2、将拆除感光面窗口的可见光CCD和下转换材料放置在真空舱内,下转换材料放置在蒸发舟上,可见光CCD放置的蒸发舟上方,感光面朝下;

S3、采用电阻式蒸发原理,利用电流在蒸发舟上加热下转换材料,使其熔化蒸发,从而在探测器芯片表面上沉积下转换材料薄膜,实现材料和探测器的直接耦合。

所述步骤S3中控制电流大小为100A±0.5A,保持蒸发速率为1埃/秒到1.5埃/秒之间。

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