[发明专利]一种运动平台的校准方法及装置

说明书

本发明公开了一种运动平台的校准方法及装置，所述运动平台包括特征图案，所述校准方法包括：获取所述特征图案在标定图像中的基准位置，其中，标定图像由所述运动平台运动至预设坐标位置并采集得到；控制运动平台运动至预设坐标位置，并获取特征图案在测试图像中的当前位置；基于基准位置和当前位置之间的位置关系，获取运动平台的偏移信息；基于偏移信息校准运动平台。上述过程中，基于基准位置和当前位置之间的位置关系，获取运动平台的偏移信息；基于偏移信息校准所述运动平台，避免了运动平台受温度、导轨磨损等外部环境影响导致运动平台的预设坐标位置发生偏移，导致包含运动平台的测量设备测量的准确性降低的问题。

技术领域

本发明涉及检测技术领域，尤其涉及一种运动平台的校准方法及装置。

背景技术

通过电机水平运动平台X/Y STAGE以及与其独立悬挂的垂直运动平台(Z STAGE)构建的坐标系在检测领域有一定的应用，例如二维影像仪，三维轮廓度测量仪等。

但是，电机水平运动平台X/Y STAGE受温度、导轨磨损等外部环境影响，运动平台发生偏移，导致包含运动平台的测量设备测量的准确性降低。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种运动平台的校准方法及装置，用以解决运动平台受温度、导轨磨损等外部环境影响，预设坐标位置发生偏移，导致包含运动平台的测量设备测量的准确性降低的问题。具体方案如下：

一种运动平台的校准方法，所述运动平台包括特征图案，所述校准方法包括：

获取所述特征图案在标定图像中的基准位置，其中，所述标定图像由所述运动平台运动至预设坐标位置并采集得到；

控制所述运动平台运动至所述预设坐标位置，并获取所述特征图案在测试图像中的当前位置；

基于所述基准位置和所述当前位置之间的位置关系，获取所述运动平台的偏移信息；

基于所述偏移信息校准所述运动平台。

上述的方法，可选的，所述基准位置为所述特征图案在所述标定图像中的基准像素坐标，所述当前位置为所述特征图案在所述测试图像中的当前像素坐标，基于所述基准位置和所述当前位置之间的位置关系，获取所述运动平台的偏移信息，包括：

分别将所述基准像素坐标转换为基准坐标，将所述当前像素坐标转换为当前坐标，所述基准坐标与所述当前坐标为所述运动平台的物理坐标下的坐标；

计算所述基准坐标和所述当前坐标之间的偏移信息。

上述的方法，可选的，所述当前像素坐标包括：第一当前像素坐标值和第二当前像素坐标值，所述当前坐标包括：第一当前坐标值和第二当前坐标值，将所述当前像素坐标转换为当前坐标，包括：

获取所述标定图像及所述测试图像的放大倍数和尺度因子，其中，所述尺度因子包括：第一尺度因子和第二尺度因子；

基于所述第一当前像素值、所述放大倍数和所述第一尺度因子确定所述第一当前坐标值；

基于所述第二当前像素值、所述放大倍数和所述第二尺度因子确定所述第二当前坐标值；

其中，所述第一当前坐标值和所述第二当前坐标值组成所述当前坐标。

上述的方法，可选的，所述基准位置为基准像素坐标，所述当前位置为当前像素坐标，基于所述基准位置和所述当前位置之间的位置关系，获取所述运动平台的偏移信息，包括：

计算所述基准像素坐标和所述当前像素坐标的图上偏移量；

获取所述标定图像及所述测试图像的放大倍数、尺度因子和像素阵列偏角；

基于所述放大倍数、所述尺度因子、所述像素阵列偏角和所述图上偏移量计算所述偏移信息。