[发明专利]聚合物、光敏性树脂组合物、图案形成方法、固化膜、电子部件

权利要求书

1.一种聚合物，其特征在于，其含有下述通式(1)和/或(2)表示的结构单元，

式中，T₁、T₂任选彼此相同或不同，表示-CO-、-SO₂-中的任意一种，X₁为4价有机基团，l为0或1，

式中，T₁、T₂、l与所述T₁、T₂、l相同，X₂为2价有机基团。

2.根据权利要求1所述的聚合物，其特征在于，除了含有所述通式(1)和/或(2)表示的结构单元以外，进一步含有下述通式(3)至(5)及(7)表示的结构单元中的任意一种以上，

式中，X₃为与所述X₁相同或不同的4价有机基团，s表示0或1，Z为2价连接基团，s＝0时，式中的2个芳香环不经由连接基团而直接连接，

式中，X₄为2价有机基团，s及Z与所述s及Z相同，

式中，X₅为与所述X₁相同或不同的4价有机基团，R₁为下述通式(6)表示的基团，s及Z与所述s及Z相同，

式中，虚线表示键，Y₁为(k+1)价的有机基团，Rf为一部分或全部氢原子被氟原子取代的碳原子数为1～20的直链状、支链状或环状的烷基或芳香族基团，k表示1、2或3，n表示0或1，

式中，X₆为与所述X₁相同或不同的4价有机基团，X₇为下述通式(8)表示的基团，

式中，R₂～R₅各自独立地为碳原子数为2～10的直链状或支链状的亚烷基，m₁为1～40的整数，m₂、m₃各自独立地为0～40的整数。

3.根据权利要求2所述的聚合物，其特征在于，所述通式(5)中的R₁为选自下述通式(9)、(10)、(11)及(12)表示的基团中的任意一种的有机基团，

式中，虚线表示键；Rf与所述Rf相同，Ra及Rb为氢原子或碳原子数为1～3的烷基，Y₂及Y₃为碳原子数为1～6的直链状或支链状的亚烷基，n1表示0～6的整数，n2表示1～6的整数，n3表示0～6的整数，n4表示1～6的整数，n5表示0～6的整数，n6表示0或1，n7表示0～6的整数。

4.根据权利要求2所述的聚合物，其特征在于，所述通式(3)、(4)、(5)中的Z为下述通式(13)或(14)表示的2价基团，

式中，虚线表示键。

5.一种正型光敏性树脂组合物，其特征在于，其含有：

(A)权利要求1～4中任一项所述的聚合物；

(B)具有醌二叠氮结构的化合物，其为因光而产生酸从而增加对碱性水溶液的溶解速度的光敏剂；及

(D)溶剂。

6.根据权利要求5所述的正型光敏性树脂组合物，其特征在于，其进一步含有下述(C)成分：

(C)交联剂，其为选自利用甲醛或甲醛-醇进行了改性的氨基缩合物、1分子中平均具有2个以上的羟甲基或烷氧基羟甲基的酚类化合物、多元酚的羟基的氢原子被缩水甘油基取代的化合物、多元酚的羟基的氢原子被下述式(C-1)表示的取代基取代的化合物、及含有2个以上下述式(C-2)表示的具有缩水甘油基的氮原子的化合物中的1种或2种以上，

式中，虚线表示键，Rc表示碳原子数为1～6的直链状、支链状或环状的烷基，v表示1或2。