[发明专利]一种温度自适应润滑轴承及其制备方法

权利要求书

1.一种温度自适应润滑轴承，基体材料为轴承钢或不锈钢，其特征在于：轴承基体表面具有ZrAgNbN+MoTeVC交替分布的温度自适应润滑叠层涂层。

2.根据权利要求1所述的一种温度自适应润滑轴承，其特征在于：所述叠层涂层至少含有10层ZrAgNbN层和10层MoTeVC层，且ZrAgNbN与MoTeVC单个层的厚度小于等于300nm。

3.根据权利要求1所述的一种温度自适应润滑轴承，其特征在于：所述ZrAgNbN涂层中Zr元素原子百分比为30-50％，Ag元素原子百分比为10-20％，Nb元素原子百分比为5-20％，N元素原子百分比为20-40％，所述Zr、Ag、Nb、N元素原子百分比之和为100％；MoTeVC涂层中Mo元素原子百分比为20-25％，Te元素原子百分比为40-50％，V元素原子百分比为10-20％，C元素原子百分比为10-20％，所述Mo、Te、V、C元素原子百分比之和为100％。

4.权利要求1-3任意一项所述的温度自适应润滑轴承的制备方法，其特征在于，制备方法包括以下步骤：

(1)前处理：将轴承基体依次放入酒精和丙酮中超声清洗各20-30min，去除表面油渍污染物，采用真空干燥箱充分干燥后迅速放入镀膜机真空室，真空室本底真空为7.0×10^-3-9.0×10^-3Pa，加热至150-300℃，保温时间30-40min。

(2)离子清洗：通入Ar气，其压力为0.5-2.0Pa，开启偏压电源，电压为700-1000V，占空比为0.25-0.3，辉光放电清洗20-30min；偏压降低至300-800V，开启离子源离子清洗20-30min，开启电弧源Zr靶，偏压为400-600V，靶电流为40-80A，离子轰击Zr靶0.5-2min。

(3)沉积ZrAgNbN层：调整工作气压为0.5-3.0Pa，偏压为100-300V，调整Zr靶电流为80-160A，开启AgNbN复合靶电弧电源，靶电流调至60-90A，沉积ZrAgNbN涂层2-5min。

(4)沉积MoTeVC层：关闭Zr靶和AgNbN复合靶，调整工作气压为0.5-2.0Pa，偏压为200-400V，开启MoTe2靶和VC靶电弧电源，MoTe2靶电流为80-120A，VC靶电流为60-70A，沉积MoTeVC涂层2-5min。

(5)沉积ZrAgNbN+MoTeVC交替叠层涂层：重复以上步骤(3)和(4)，交替沉积ZrAgNbN+MoTeVC叠层涂层，使涂层总厚度为2-50μm。

(6)后处理：关闭所有靶材、偏压电源及气体源，保温30-60min，涂层结束。