[发明专利]一种薄膜太阳能电池真空蒸镀掩膜板卡具及其制作方法在审
| 申请号： | 202011479796.5 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN112553572A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 熊继光;赵志国;秦校军;肖平;赵东明;邬俊波;董超;刘家梁;王百月;冯笑丹;梁思超;王森;张杰 | 申请（专利权）人： | 华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 李鹏威 |
| 地址： | 100036 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 太阳能电池 真空 蒸镀掩膜 板卡 及其 制作方法 | ||
1.一种薄膜太阳能电池真空蒸镀掩膜板卡具，其特征在于，包括卡具骨架(11)和连接在卡具骨架(11)上的若干挡板，相邻两挡板的相对面上设置有高度相同的一套支撑台阶，所述支撑台阶用于支撑放置掩膜板，若干挡板提供的所有支撑台阶中至少包含两套高度不同的支撑台阶。
2.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池真空蒸镀掩膜板卡具，其特征在于，所述卡具骨架(11)与挡板之间采用活动连接，所述卡具骨架(11)上开设有卡槽(12)，挡板顶部与卡槽(12)配合用于卡入卡槽(12)内，且挡板顶部可在卡槽(12)内滑动。
3.根据权利要求2所述的一种薄膜太阳能电池真空蒸镀掩膜板卡具，其特征在于，所述卡槽(12)的截面形状为倒梯形。
4.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池真空蒸镀掩膜板卡具，其特征在于，所述卡具骨架(11)上开设有开孔(13)，所述开孔(13)开设在卡槽(12)正上方，所述挡板上开设有沉孔，所述沉孔与开孔(13)对应，固定销(31)穿过开孔(13)与沉孔连接。
5.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池真空蒸镀掩膜板卡具，其特征在于，所述挡板共设置有三个，且三个挡板之间间隔相同。
6.根据权利要求5所述的一种薄膜太阳能电池真空蒸镀掩膜板卡具，其特征在于，所述三个挡板之间设置有两套支撑台阶，且两个支撑台阶高度不同。
7.一种薄膜太阳能电池真空蒸镀掩膜板卡具的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)制作卡具骨架(11)，卡具骨架(11)上带有卡槽(12)；
2)在步骤1)制作的卡具骨架(11)上的卡槽(12)两端顶部开孔；
3)制作挡板，所述挡板的顶部与步骤1)制作的卡槽(12)对应，且挡板的顶部开设有沉孔(24)，沉孔(24)和卡槽(12)顶部开孔(13)对应；
4)制作与开孔与沉孔尺寸对应的固定销(31)；
5)将卡具骨架(11)、若干挡板和固定销(31)组合在一起，得到薄膜太阳能电池掩膜板卡具。
8.根据权利要求7所述的薄膜太阳能电池真空蒸镀掩膜板卡具的制作方法，其特征在于，所述卡槽(12)开设在卡具骨架(11)的底面上。
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