[发明专利]真空吸附装置

说明书

本发明提供一种真空吸附装置，用于吸附板材，所述真空吸附装置包括：吸附平台，所述吸附平台具有接触表面、多个真空孔以及第一通道，所述接触表面与所述板材接触，所述多个真空孔设置于所述接触表面上，所述第一通道位于所述吸附平台的内部，所述多个真空孔分别与所述第一通道连通；调节杆；密封结构，所述密封结构连接于所述调节杆的一端；其中，所述调节杆带动所述密封结构在所述第一通道中滑动，以调节所述第一通道中抽真空区段的长度。

技术领域

本发明涉及一种真空吸附装置，特别关于一种能够自动调整吸附范围的真空吸附装置。

背景技术

在平板显示器如PDP、LCD、OLED的基板制程中，一般在后工序制程中需要对前工序大尺寸的基板进行切割、分断，以制成较小尺寸的平板显示器，在玻璃基板的切割、分断工艺中通常使用真空吸附工作台对待加工的基板予以吸附、固持。类似地，在其它平板型工件如PCB、晶圆片、光学膜片等的加工过程中也广泛地使用真空吸附工作台。在实际生产中，平板显示器的基板等平板型工件的规格和尺寸常有变化，也就是要求某种规格尺寸的真空吸附工作台能够兼容适用于该规格最大尺寸及以下尺寸的平板型工件。但是，传统的真空吸附工作台封堵真空孔的方法使用不便，且容易漏气，密封效果差。

发明内容

本发明目的在于提供一种结构简单、成本低廉的自适应基板尺寸的真空吸附装置。

为了实现以上目的，本发明技术方案提供了一种真空吸附装置，用于吸附板材，所述真空吸附装置包括：吸附平台，所述吸附平台具有接触表面、多个真空孔以及第一通道，所述接触表面与所述板材接触，所述多个真空孔设置于所述接触表面上，所述第一通道位于所述吸附平台的内部，所述多个真空孔分别与所述第一通道连通；调节杆；密封结构，所述密封结构连接于所述调节杆的一端；其中，所述调节杆带动所述密封结构在所述第一通道中滑动，以调节所述第一通道中抽真空区段的长度。通过调节杆和密封结构在通道中移动调节第一通道中抽真空区段的长度，使得真空吸附装置可对不同尺寸、形状的板材进行真空吸附。

作为可选的技术方案，所述调节杆的第一端面设置第一凸块；所述密封结构的第二端面上设置第二凹部；所述第一凸块与所述第二凹部可拆卸地连接。通过在调节杆设置第一凸块，密封结构设置第二凹部的方式，工艺上更容易实现且结构更简单。调节杆和密封件可拆卸式连接，提高了调节杆的利用率，避免密封件的遗失。

作为可选的技术方案，所述第一凸块可以插入所述第二凹部中，沿第一方向转动所述调节杆，所述第一凸块与所述第二凹部可以相互锁定；沿第二方向转动所述调节杆，所述第一凸块与所述第二凹部可以解除锁定，所述第一凸块自所述第二凹部中脱出；其中，所述第一方向和所述第二方向相反。提供了调节杆和密封结构的一种可拆卸连接的实施方式，可转动的拆卸连接便于使用者操作作为可选的技术方案，所述多个真空孔规则地排列于所述接触表面上。此种设置方式方便对抽真空区段进行调节。

作为可选的技术方案，所述第一通道为直条形通道；优选地，所述第一通道的数量为至少两个；优选地，至少两个所述第一通道间隔设置。其中，直条形通道的结构利于调节杆带动密封结构在通道内滑动，以使抽真空区段的长度调节方便可控。

作为可选的技术方案，还包括设置于所述吸附平台内的第二通道，所述多个真空孔与所述第二通道连通，且所述第二通道与至少一个第一通道相交且相互连通；其中，所述调节杆带动所述密封结构在所述第二通道中滑动，以调节所述第二通道中抽真空区段的长度。通过设置第一通道和第二通道可以方便调节吸附平台的任意位置的抽真空区段，提高真空吸附装置的通用性。

作为可选的技术方案，所述第二通道数量为至少两个，至少两个所述第二通道为直条形通道；优选地，至少两个所述第二通道间隔设置；优选地，所述第二通道与所述第一通道垂直相交。通过垂直相交的直条形第一通道和直条形第二通道方便调节吸附平台的任意位置的抽真空区段，提高真空吸附装置的通用性。