[发明专利]一种取样装置

说明书

本发明提供一种取样装置，包括：箱体，箱体内限定有第一腔室和第二腔室，第一腔室与第二腔室连通；取样结构，取样结构设置于第一腔室中；机械臂，机械臂上设有夹爪，夹爪在第一腔室与第二腔室中可移动；清洗结构，清洗结构设在第二腔室中。在本发明的取样装置中，取样结构设置于第一腔室中，机械臂上设有夹爪，夹爪在第一腔室与第二腔室中可移动，清洗结构设在第二腔室中，在取样过程中，可以通过夹爪来夹取取样瓶和瓶盖，通过清洗结构可以清洗取样瓶和瓶盖，可以在第一腔室中完成取样，避免外部环境中的污染物进入药液，提高清洗液的检测结果的准确性，保证硅片的清洗效果，提高硅片的加工质量。

技术领域

本发明涉及硅片技术领域，具体涉及一种取样装置。

背景技术

在硅片生产过程中，颗粒和不纯物等各种杂质会导致硅片表面受到污染，在清洗工艺中使用药液对硅片表面的颗粒和金属进行去除。如果药液本身受到污染，也会对硅片表面产生污染，需要取样分析清洗液是否污染，但是在取样过程中，操作员以及周围环境中的污染物会进入到清洗液，导致清洗液的检测结果不准确，影响硅片的清洗效果，导致硅片的加工质量降低。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种取样装置，用以解决在取样过程中，操作员以及周围环境中的污染物会进入到清洗液，导致清洗液的检测结果不准确的问题。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

本发明实施例提供一种取样装置，包括：

箱体，所述箱体内限定有第一腔室和第二腔室，所述第一腔室与所述第二腔室连通；

取样结构，所述取样结构设置于所述第一腔室中；

机械臂，所述机械臂上设有夹爪，所述夹爪在所述第一腔室与所述第二腔室中可移动；

清洗结构，所述清洗结构设在所述第二腔室中。

其中，所述箱体上设有挡板，所述挡板在第一位置与第二位置之间移动，当所述挡板位于所述第一位置时，所述挡板隔断所述第一腔室与所述第二腔室；当所述挡板位于所述第二位置时，所述第一腔室与所述第二腔室连通。

其中，所述取样结构包括取样管，所述取样管可活动。

其中，所述取样管上设有调节阀以导通或关闭所述取样管。

其中，所述箱体的底部设有承载板，所述承载板与所述箱体的底壁间隔开，所述承载板上设有通孔。

其中，所述清洗结构包括至少一个喷嘴，所述喷嘴位于所述承载板的上方。

其中，所述箱体的底壁上设有排出口。

其中，所述夹爪围绕第一轴线可旋转，所述第一轴线与所述箱体的底壁垂直。

其中，所述夹爪沿上下方向可移动。

其中，所述机械臂包括第一机械臂和第二机械臂，所述第二机械臂设在所述第一机械臂上，所述第二机械臂的至少部分可在所述第一腔室与所述第二腔室中移动，所述夹爪设在所述第二机械臂上。

根据本发明实施例的取样装置，包括：箱体，所述箱体内限定有第一腔室和第二腔室，所述第一腔室与所述第二腔室连通；取样结构，所述取样结构设置于所述第一腔室中；机械臂，所述机械臂上设有夹爪，所述夹爪在所述第一腔室与所述第二腔室中可移动；清洗结构，所述清洗结构设在所述第二腔室中。在本发明的取样装置中，所述取样结构设置于所述第一腔室中，所述机械臂上设有夹爪，所述夹爪在所述第一腔室与所述第二腔室中可移动，所述清洗结构设在所述第二腔室中，在取样过程中，可以通过夹爪来夹取取样瓶和瓶盖，通过清洗结构可以清洗取样瓶和瓶盖，可以在第一腔室中完成取样，避免外部环境中的污染物进入药液，提高清洗液的检测结果的准确性，保证硅片的清洗效果，提高硅片的加工质量。

附图说明