[发明专利]一种熔融石英元件的损伤阈值预测方法

权利要求书

1.一种熔融石英元件的损伤阈值预测方法，其特征在于，所述损伤阈值预测方法包括：

提供一待测熔融石英元件；

测量所述待测熔融石英元件的荧光信号和拉曼散射信号；

基于所述荧光信号，获取缺陷荧光峰；

基于所述拉曼散射信号，获取拉曼散射峰；

基于所述缺陷荧光峰的面积和所述拉曼散射峰的面积进行归一化处理；

基于归一化处理结果，预测所述待测熔融石英元件的损伤阈值；

所述基于所述缺陷荧光峰的面积和所述拉曼散射峰的面积进行归一化处理，包括：获取所述缺陷荧光峰的面积与所述拉曼散射峰的面积的比值；

所述基于归一化处理结果，预测所述待测熔融石英元件的损伤阈值，包括：

获取归一化处理结果与损伤阈值的对应关系；

基于所述归一化处理结果，结合所述对应关系，预测所述待测熔融石英元件的损伤阈值。

2.根据权利要求1所述的损伤阈值预测方法，其特征在于，所述测量所述待测熔融石英元件的荧光信号和拉曼散射信号，包括：

采用显微共聚焦拉曼光谱仪，同时测量所述待测熔融石英元件的荧光信号和拉曼散射信号。

3.根据权利要求2所述的损伤阈值预测方法，其特征在于，所述显微共聚焦拉曼光谱仪的空间分辨率为5微米。

4.根据权利要求1所述的损伤阈值预测方法，其特征在于，所述拉曼散射峰为硅-氧键环状结构的拉曼散射峰。

5.根据权利要求1所述的损伤阈值预测方法，其特征在于，所述损伤阈值为50％概率发生损伤的最高激光能量密度。

6.根据权利要求1所述的损伤阈值预测方法，其特征在于，所述损伤阈值预测方法还包括：

依据所述缺陷荧光峰，获取所述待测熔融石英元件的缺陷密度。