[发明专利]一种化学材料研磨装置

说明书

本发明涉及化学领域，更具体的说是一种化学材料研磨装置包括托板、定竖刀、顶板、动竖刀和通孔，本发明可以对块状材料进行切碎后挤碎，然后再进行研磨，研磨效果更佳。所述托板的上侧从左至右设置有多个定竖刀，顶板的下侧从左至右设置有多个动竖刀，每个动竖刀上从前至后均设置有多个通孔，托板位于托板的上方，顶板能够相对托板上下移动和左右移动。所述化学材料研磨装置还包括竖杆、矩形筒、滑条、方板和油缸II，托板的下侧固定连接有竖杆，矩形筒的下侧固定连接有滑条，滑条滑动连接在竖杆上，竖杆的下端固定连接在方板的上侧，方板的上侧固定连接有油缸II，油缸II的上部固定连接在托板的下侧。

技术领域

本发明涉及化学领域，更具体的说是一种化学材料研磨装置。

背景技术

申请号为CN201210388738.0公开的用于化学研磨装置的研磨头及其化学研磨装置，包括：具有独立研磨子区域的同心环形研磨区域，所述同心环形研磨区域以所述研磨头的圆心为中心并对称分布，所述同心环形研磨区域内分别设置独立研磨子区域；施力装置，所述施力装置作用在所述研磨头上，并分别独立控制所述各研磨子区域的受力。一种具有所述的研磨头的化学研磨装置进一步包括转轴；研磨台；研磨垫。利用本发明所述的研磨头，并在薄膜较厚的区域施加较大的压力，而在薄膜较薄的区域施加较小的压力便可实现晶圆内非对称研磨，从而提高对薄膜厚度在所述晶圆内呈非对称性分布的研磨均一性。本发明所述的研磨头不仅操作简单，使用方便，便于推广，而且实用性强，能满足不同产品的研磨需要。但是该专利无法对块状材料进行切碎后挤碎，然后再进行研磨。

发明内容

本发明提供一种化学材料研磨装置，其有益效果为本发明可以对块状材料进行切碎后挤碎，然后再进行研磨，研磨效果更佳。

本发明涉及化学领域，更具体的说是一种化学材料研磨装置包括托板、定竖刀、顶板、动竖刀和通孔，本发明可以对块状材料进行切碎后挤碎，然后再进行研磨，研磨效果更佳。

所述托板的上侧从左至右设置有多个定竖刀，顶板的下侧从左至右设置有多个动竖刀，每个动竖刀上从前至后均设置有多个通孔，托板位于托板的上方，顶板能够相对托板上下移动和左右移动。

所述化学材料研磨装置还包括竖杆、矩形筒、滑条、方板和油缸II，托板的下侧固定连接有竖杆，矩形筒的下侧固定连接有滑条，滑条滑动连接在竖杆上，竖杆的下端固定连接在方板的上侧，方板的上侧固定连接有油缸II，油缸II的上部固定连接在托板的下侧，矩形筒滑动连接在托板的外侧边缘，矩形筒固定连接在滑条的上侧。

所述化学材料研磨装置还包括滑轨、油缸I、立臂和油缸III，方板的后部设置有滑轨，顶板竖向滑动连接在立臂的上部，立臂的后侧固定连接有油缸III，油缸III的上部固定连接在顶板的下部，立臂的下部在左右方向上滑动连接在滑轨上，方板的左侧固定连接有油缸I，油缸I的活动端固定连接在立臂的左侧。

所述化学材料研磨装置还包括侧轴、平板、油缸IV和支架，平板上固定连接有支架，方板前部的左右两侧均固定连接有侧轴，两个侧轴分别转动连接在两个支架的上部，平板的后部铰接有油缸IV，油缸IV的上部铰接在方板上。

所述化学材料研磨装置还包括承托条、斜板和直角板，平板的前部固定连接有承托条，承托条的上部固定连接有斜板，斜板位于托板的前侧的下方，平板的下侧固定连接有直角板。

所述化学材料研磨装置还包括扳杆、铰接杆、半圆盒和凸块，半圆盒的后侧固定连接有凸块，凸块铰接在平板的前部下侧，位于左侧的侧轴上固定连接有扳杆，铰接杆的下端铰接在半圆盒上，铰接杆的上端铰接在扳杆上，半圆盒位于斜板的下方。

所述化学材料研磨装置还包括前挡沿和弧形孔，半圆盒的前侧固定连接有前挡沿，前挡沿的下部设置有弧形孔。