[发明专利]一种晶硅太阳能电池表面钝化工艺有效

申请号：	202011450716.3	申请日：	2020-12-11
公开（公告）号：	CN112563372B	公开（公告）日：	2022-12-09
发明（设计）人：	任现坤;杨晓君;仲伟佳;葛永见;曹振;郭瑞静;陈冲	申请（专利权）人：	山东力诺阳光电力科技有限公司
主分类号：	H01L31/18	分类号：	H01L31/18
代理公司：	山东舜源联合知识产权代理有限公司 37359	代理人：	闫晓燕
地址：	250000 山东省济南市中国(山东)自由贸易试***	国省代码：	山东;37
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摘要：
搜索关键词：	一种太阳能电池表面钝化工艺
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【权利要求书】：

1.一种晶硅太阳能电池表面钝化工艺，其特征在于，过程为：设定特气柜中的气体比例，控制SiH₄与NH₃体积比为1.5-2:1，并控制进入工作腔内的气体压力在20-25Pa之间；设定工作腔中，衬底托台的加热温度为220℃，调整射频频率在200-230KHz之间；将洁净的基片送至工作腔，置于衬底托台上加热；运行工艺，完成对电池表面钝化；

所述基片为经过制绒、扩散、刻蚀清洗后的基片，基片的N区和P区之间形成PN结；其中，N区为表面，P区为背面；

当对N区表面钝化时，进入工作腔内的SiH₄与NH₃的体积比为1.5:1，气体压力为22Pa；

当对P区表面钝化时，进入工作腔内的SiH₄与NH₃的体积比为1.9:1，气体压力为25Pa；

射频频率为228KHz；通过射频频率设定使沉积速率维持在0.3-0.4nm/min之间；

在刻蚀清洗过程中，使用SC1清洗液对基片进行清洗，在对基片进行清洗的过程中，添加非离子表面活性剂，所述非离子表面活性剂为壬基酚聚氧乙烯醚。

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