[发明专利]气液抽取分离装置及光刻机

说明书

本发明提供了一种气液抽取分离装置及光刻机，涉及半导体加工设备领域，为解决现有的气液抽取分离装置无法满足光刻机不同工况下的气液抽取分离需求的问题而设计。该气液抽取分离装置用于光刻机，包括控制模块和多组气液抽取分离模块，多组气液抽取分离模块分别配置为抽取分离不同的气液混合体；气液抽取分离模块包括通过管路依次连接的真空吸附头、通断阀和气液分离箱，真空吸附头被配置为抽取气液混合体；控制模块被配置为控制气液抽取分离模块工作；气液分离箱被配置为对气液混合体进行气液分离。该光刻机包括上述气液抽取分离装置。本发明提供的气液抽取分离装置及光刻机满足了不同工况下的气液分离需求。

技术领域

本发明涉及半导体加工设备领域，具体而言，涉及一种气液抽取分离装置及光刻机。

背景技术

半导体行业的发展，对光刻机加工精度的要求越来越高。在新一代浸没式光刻机双工件台中，通常设置有气液抽取分离装置，用于对工件台残存的浸没液及气泡进行抽取和分离。

但是，在光刻机不同的工作时段及不同的工序中，需要分别抽取分离不同的气液混合体，而且，这些不同气液混合体的抽取分离还需要根据光刻机的工作进程随时切换、随时停止，这就导致现有的气液抽取分离装置无法满足上述新一代浸没式光刻机的气液抽取分离需求。

发明内容

本发明的第一个目的在于提供一种气液抽取分离装置，以解决现有的气液抽取分离装置无法满足光刻机不同工况下的气液抽取分离需求的技术问题。

本发明提供的气液抽取分离装置，用于光刻机，所述气液抽取分离装置包括控制模块和多组气液抽取分离模块，多组所述气液抽取分离模块分别配置为抽取分离不同的气液混合体；其中，所述气液抽取分离模块包括通过管路依次连接的真空吸附头、通断阀和气液分离箱，所述真空吸附头被配置为抽取气液混合体；所述控制模块被配置为控制各组所述气液抽取分离模块工作；所述气液分离箱被配置为对所述气液混合体进行气液分离。

进一步地，所述气液抽取分离模块还包括节流阀，所述节流阀被配置为控制流经管路的流量。

进一步地，所述气液抽取分离模块还包括压力传感器，所述压力传感器被配置为检测管路压力。

进一步地，所述气液抽取分离模块还包括先导阀，所述先导阀与所述控制模块连接，各组所述气液抽取分离模块中，所述先导阀被配置为控制相应的所述通断阀。

进一步地，各组所述气液抽取分离模块共用所述气液分离箱。

进一步地，所述气液分离箱包括具有容纳腔的箱体和设置于所述容纳腔的隔板，所述隔板将所述容纳腔分隔为相连通的第一腔室和第二腔室，其中，各组所述气液抽取分离模块的管路出口与所述第一腔室直接连通，所述隔板位于由所述管路出口流出的气液混合体的流动路径上；所述第二腔室连通有出气口和出液口，所述出气口位于所述出液口的上方。

进一步地，所述出液口连通有回收管道，所述回收管道设置有启闭阀，所述启闭阀与所述控制模块电连接；所述气液抽取分离装置还包括液位开关，所述液位开关被配置为检测所述箱体内的液位，所述液位开关与所述控制模块电连接。

进一步地，所述出气口的数量为多个，多个所述出气口具有不同的出气流量。

进一步地，所述气液抽取分离装置还包括外壳，所述控制模块和多组所述气液抽取分离模块均设置于所述外壳的内部。

进一步地，所述气液抽取分离模块设置有两组，分别为第一气液抽取分离模块和第二气液抽取分离模块，其中，所述第一气液抽取分离模块被配置为抽取分离所述光刻机的吸盘的残存浸没液及气泡，所述第二气液抽取分离模块被配置为抽取分离所述光刻机的桥接台的残存浸没液及气泡。

本发明气液抽取分离装置带来的有益效果是：