[发明专利]电镀设备用阴极组件

权利要求书

1.一种电镀设备用阴极组件，其中，包括：

滚子主体，沿着中心轴延伸；以及

支撑轴模块，包括凸缘和轴，所述凸缘结合于所述滚子主体，所述轴从所述凸缘沿着中心轴延伸，

所述凸缘具有第一刚性，

所述轴具有大于所述第一刚性的第二刚性。

2.根据权利要求1所述的电镀设备用阴极组件，其中，

所述凸缘为铜材质，所述轴为不锈钢材质。

3.根据权利要求1所述的电镀设备用阴极组件，其中，

所述凸缘包括：

凸缘主体，连接于所述轴并配置于所述滚子主体的端部；以及

凸缘插入体，从所述凸缘主体沿着中心轴延伸并插入于所述滚子主体的内部，

所述凸缘主体具有凸缘倾斜面，所述凸缘倾斜面随着从所述凸缘插入体朝向所述轴，逐渐从所述滚子主体的内周面朝向所述滚子主体的外周面倾斜。

4.根据权利要求3所述的电镀设备用阴极组件，其中，

所述滚子主体具有与所述凸缘倾斜面相对应的滚子倾斜面，

所述凸缘倾斜面和所述滚子倾斜面以热压方式相结合。

5.根据权利要求3所述的电镀设备用阴极组件，其中，

所述滚子主体具有第一螺纹紧固部，所述第一螺纹紧固部配置于所述滚子主体的内周面，

所述凸缘插入体具有与所述第一螺纹紧固部相对应的第二螺纹紧固部。

6.根据权利要求1所述的电镀设备用阴极组件，其中，

还包括密封构件，所述密封构件配置在所述滚子主体和所述凸缘之间。

7.根据权利要求4所述的电镀设备用阴极组件，其中，

所述凸缘主体具有凸起，所述凸起从所述凸缘倾斜面朝向所述滚子倾斜面凸出，

所述滚子主体具有插入槽，所述插入槽与所述凸起相对应地配置于所述滚子倾斜面。

8.根据权利要求7所述的电镀设备用阴极组件，其中，

还包括密封构件，所述密封构件配置于所述插入槽。