[发明专利]用于石英晶体振荡式薄膜厚度监视器的传感器头

权利要求书

1.一种用于石英晶体振荡式薄膜厚度监视器的传感器头，其具有：传感器头主体，其配置有驱动装置；保持件，其由驱动装置旋转驱动且在同一圆周上间隔设置有多个石英振子；以及掩膜体，以从传感器头主体朝向保持件的方向为上，所述掩膜体设置在传感器头主体上，并覆盖设置有各石英振子的保持件的上表面，且开设有朝向任意一个石英振子的成膜用窗口；

所述用于石英晶体振荡式薄膜厚度监视器的传感器头具有：第一电极，其固定在位于成膜用窗口正下方的传感器头主体的部分上；以及第二电极，其分别与各石英振子导通且向保持件的下表面突出设置；当使保持件旋转到一个石英振子和成膜用窗口在上下方向上相匹配的相位时，第一电极和第二电极抵接并导通；

所述用于石英晶体振荡式薄膜厚度监视器的传感器头的特征在于：

还配置有绝缘体，其位于第一电极或第二电极任意一方的保持件的旋转方向两侧，且第一电极或第二电极中的任意另一方在其上滑动。

2.根据权利要求1所述的用于石英晶体振荡式薄膜厚度监视器的传感器头，其特征在于：

所述驱动装置具有步进电机或气动旋转致动器。

3.根据权利要求1或2所述的用于石英晶体振荡式薄膜厚度监视器的传感器头，其特征在于：

所述绝缘体采用氟树脂构成。