[发明专利]一种干刻下部电极表面涂层铣削加工刀具及其加工方法

权利要求书

1.一种干刻下部电极表面涂层铣削加工刀具，包括第一支撑板（2）、第二支撑板（3）和第五支撑板（40），其特征在于：所述第二支撑板（3）位于第一支撑板（2）的上方，所述第五支撑板（40）位于第二支撑板（3）的一侧，所述第一支撑板（2）的底部焊接有基台（1），所述基台（1）上方设有第一固定框（25），所述第一固定框（25）底部设有第二液压缸（26），所述第二液压缸（26）的一端贯穿有第二液压杆（27），所述第二液压杆（27）远离第二液压缸（26）的一端与第一固定框（25）的底部固定连接，所述第一支撑板（2）远离基台（1）的一侧焊接有第二卡齿（23）和两个第二滑轨（24），所述第二卡齿（23）的一端焊接有第三固定板（1701），所述第三固定板（1701）靠近第二卡齿（23）的一侧焊接有两个缓冲柱（1702），两个所述第二滑轨（24）上方设有第二固定板（17），所述第二固定板（17）和两个第二滑轨（24）之间设有第二滑块（20），所述第二滑块（20）和第二滑轨（24）之间设有两个滚轮（21），两个所述滚轮（21）与第二滑块（20）之间设有第一固定轴（22），所述第二固定板（17）的上端安装有第一电机（6），所述第一电机（6）的一端安装有第三转轴（18），所述第三转轴（18）远离第一电机（6）的一端安装有第三齿轮（19）；

所述第二支撑板（3）的与第二固定板（17）之间固定有第一固定板（7），所述第二支撑板（3）的一侧焊接有两个第一滑轨（4），所述第二支撑板（3）远离第一固定板（7）的一端设有第一挡板（401），所述第二支撑板（3）的顶端焊接有第一卡齿（5），所述第一卡齿（5）的上端设有第二挡板（801），所述第二挡板（801）的顶端安装有第二电机（8），所述第二电机（8）的一端安装有第一转轴（9），所述第一转轴（9）远离第二电机（8）的一端安装有第一齿轮（10），所述第二挡板（801）的底部焊接有第四支撑板（13），所述第四支撑板（13）的一侧焊接有第一滑块（14），所述第四支撑板（13）远离第一滑块（14）的一侧焊接有支撑架（15），所述支撑架（15）远离第四支撑板（13）的一侧固定有第一液压缸（16），所述第一液压缸（16）的一端贯穿有第一液压杆（29），所述第一液压杆（29）的底部焊接有连接板（30），所述连接板（30）远离第一液压杆（29）的一侧焊接有若干个第二固定轴（31），若干个所述第二固定轴（31）远离连接板（30）的一端焊接有第二固定框（32），所述第二固定框（32）的一侧安装有第四电机（33），所述第四电机（33）的一端安装有第四转轴（34），所述第二固定框（32）内部设有第三固定框（37），所述第三固定框（37）的一侧设有第四固定板（3501），所述第四固定板（3501）的顶端安装有第五电机（35），所述第五电机（35）的底端安装有第五转轴（36），所述第五转轴（36）远离第五电机（35）的一端安装有铣削刀具（38），所述第四支撑板（13）的一侧安装有第三电机（11），所述第三电机（11）的一端安装有第二转轴（1201），所述第二转轴（1201）远离第三电机（11）的一端安装有第二齿轮（12）；

所述第五支撑板（40）的一侧焊接有第三卡齿（39），所述第五支撑板（40）的一侧设有第三滑轨（41），支撑架（15）靠近第三滑轨（41）的一侧焊接有第三滑块（1501）。

2.根据权利要求1所述的一种干刻下部电极表面涂层铣削加工刀具，其特征在于：两个第二滑轨（24）和第二卡齿（23）相互平行，且第二卡齿（23）位于两个第二滑轨（24）之间。

3.根据权利要求1所述的一种干刻下部电极表面涂层铣削加工刀具，其特征在于：第一固定轴（22）的一端焊接在第二滑块（20）的一侧，滚轮（21）转动连接在第一固定轴（22）远离第二滑块（20）的一端，且滚轮（21）在第二滑轨（24）的轨道内滚动。

4.根据权利要求1所述的一种干刻下部电极表面涂层铣削加工刀具，其特征在于：第三转轴（18）贯穿第二固定板（17），第三齿轮（19）与第二卡齿（23）之间啮合传动，第一转轴（9）贯穿第二挡板（801），第一齿轮（10）与第一卡齿（5）之间啮合传动，第二转轴（1201）贯穿第四支撑板（13），第二齿轮（12）与第三卡齿（39）之间啮合传动。