[发明专利]一种用于镀膜机的真空辅助加热舱在审

专利信息
申请号: 202011439662.0 申请日: 2020-12-10
公开(公告)号: CN112593201A 公开(公告)日: 2021-04-02
发明(设计)人: 李志方;曾琨;魏先进;张明辉;李玉婷 申请(专利权)人: 广东汇成真空科技股份有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/02;C23C14/50
代理公司: 广州知友专利商标代理有限公司 44104 代理人: 周克佑
地址: 523838 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 镀膜 真空 辅助 加热
【权利要求书】:

1.一种用于镀膜机的真空辅助加热舱,其特征是:加热舱(4)为六面长方体,且具有六面长方体形的内腔,内腔底面上设有由两条对称的平行直线以及以两端的半圆弧连接构成的长环形轨道(3),长环形轨道之内设有相应的长环形链条驱动机构,长环形轨道之上设有相应的长环形固定内齿圈,在长环形轨道上可滑动地支承有滑块座(3-10),滑块座的内侧与链条(3-13)连接并被带动在长环形轨道上公转,滑块座上可转动地垂直支承有可挂工件(3-8)的旋转杆(3-7),旋转杆的下部固定有自转齿轮(3-5)并与长环形固定内齿圈啮合使之在公转时实现自转。

2.根据权利要求1所述的用于镀膜机的真空辅助加热舱,其特征是:长环形轨道(3)包括长环形轨道底板(3-1)及其上支承着的垂直截面为T型的长环形轨道滑轨(3-12),滑块座(3-10)底面下伸出两组共四个滚轮(3-11),滚轮表面开有凹槽对应长环形轨道滑轨的内外侧边并对称地夹在长环形轨道滑轨内外侧边上,以支承起滑块座。

3.根据权利要求1所述的用于镀膜机的真空辅助加热舱,其特征是:长环形链条驱动机构包括:相同且水平设置的主动链轮(3-15)和从动链轮(3-25)分处两端,位于下方且垂直的伺服电机轴(3-24)的上端与主动链轮固连,链条的外侧固定有链条连接耳(3-14),链条连接耳上又固定有T形连接件(3-17)伸向外,在滑块座(3-10)的内侧上端面上固定有开口向内的C形连接件(3-19),设计使得T形连接件的外伸部分插入C形连接件的开口内、并设有垂直的限位销(3-18)将两者铰接。

4.根据权利要求1所述的用于镀膜机的真空辅助加热舱,其特征是:C形连接件(3-19)的固定方式为:C形连接件的下端面有凸出块嵌入滑块座(3-10)上端面的对应凹槽内定位。

5.根据权利要求1所述的用于镀膜机的真空辅助加热舱,其特征是:滑块座上可转动地垂直支承有可挂工件的旋转杆的结构为:一工件支撑架底座(3-9)固定在滑块座(3-10)上,工件支撑架底座上又固定有轴承座(3-6),轴承座通过轴承可转动地支承着旋转轴(3-20),旋转轴上固定套有自转齿轮(3-5)、旋转轴的上端固定地着旋转杆(3-7),工件(3-8)装挂在旋转杆上。

6.根据权利要求1所述的用于镀膜机的真空辅助加热舱,其特征是:工件支撑架底座(3-9)上还固定有工件支撑架(3-16),工件支撑架的上端设有水平的上连接板(3-31),上连接板上开有垂直孔支承限位所述旋转杆(3-7)的上端。

7.根据权利要求1所述的用于镀膜机的真空辅助加热舱,其特征是:长环形固定内齿圈由两条对称平行的直线段内齿条(3-4)以及两端的两段环形段内齿条(3-3)连接构成。

8.根据权利要求1所述的用于镀膜机的真空辅助加热舱,其特征是:轴承座(3-6)是以连接件固定在工件支撑架底座(3-9)上,轴承(3-22)的外圈紧套在轴承座轴承孔内上,轴承座上端面有螺钉压紧蓋板把轴承定位,旋转轴(3-20)下部与轴承内圈紧配,旋转轴最下端有卡簧(3-23)把轴承定位,旋转轴为阶梯轴其上部套入自转齿轮,抵在旋转轴中部环形凸肩上环面上,两者用平键固连,旋转轴最上端为细颈圆柱体,并开有销钉孔;旋转杆下端上开有与旋转轴上端细圆颈相配的盲孔,也开有相应的销钉孔,旋转杆下端插入旋转轴上端细圆颈上,对齐销钉孔插入销钉连接。

9.根据权利要求1所述的用于镀膜机的真空辅助加热舱,其特征是:加热舱(4)的顶部开有若干真空抽气孔(9)可外接抽真空设备抽真空、内壁上设有加热器(5)和水汽捕集器(8)及测温探针(7)。

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