[发明专利]电磁诱导的时频双域超表面传感器在审

专利信息
申请号: 202011433807.6 申请日: 2020-12-10
公开(公告)号: CN112557340A 公开(公告)日: 2021-03-26
发明(设计)人: 邴丕彬;国馨月;张红涛;谭联;许若辰;刘庆 申请(专利权)人: 华北水利水电大学
主分类号: G01N21/3586 分类号: G01N21/3586;G01N21/3577
代理公司: 郑州中原专利事务所有限公司 41109 代理人: 王晓丽
地址: 450000 河*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 电磁 诱导 时频双域超 表面 传感器
【权利要求书】:

1.一种电磁诱导的时频双域超表面传感器,包括基底,其特征在于:在基底上刻蚀金属方环,在金属方环内的基底上刻蚀金属圆环,金属圆环设置有开口端,开口端与金属方环的中间位置相对应,基底、金属方环和金属圆环构成外方内圆超表面传感器。

2.根据权利要求1所述的电磁诱导的时频双域超表面传感器,其特征在于:所述金属方环为闭合结构,金属圆环为开口结构。

3.根据权利要求2所述的电磁诱导的时频双域超表面传感器,其特征在于:闭合金属方环和开口金属圆环构成外方内圆的周期性单元结构。

4.根据权利要求2所述的电磁诱导的时频双域超表面传感器,其特征在于:金属方环和金属圆环的厚度均为0.2μm。

5.根据权利要求1所述的电磁诱导的时频双域超表面传感器,其特征在于:所述基底为柔性聚酰亚胺基底。

6.根据权利要求1所述的电磁诱导的时频双域超表面传感器,其特征在于:所述基底厚度为10μm。

7.根据权利要求3所述的电磁诱导的时频双域超表面传感器,其特征在于:单位周期性结构外方内圆金属环结构材料为金,周期为140μm,厚度为0.2μm。

8.根据权利要求1所述的电磁诱导的时频双域超表面传感器,其特征在于:金属圆环外半径为31μm,开口间隙w宽为12μm,外部闭合方环外环长为116μm,方环与开口圆环的线宽都为10μm。

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