[发明专利]一种基于滚轮夹持驱动的晶圆定位校准装置

权利要求书

1.一种基于滚轮夹持驱动的晶圆定位校准装置，其特征在于，该装置包括固定板(1)、一对并列设置在固定板(1)侧面的夹持单元、设置在固定板(1)侧面并位于两夹持单元之间的晶圆缺口校准机构以及设置在固定板(1)侧面并与夹持单元相适配的平移限位机构，所述的夹持单元包括设置在固定板(1)侧面的气缸驱动机构、与气缸驱动机构传动连接的马达安装座(3)以及一对并列设置在马达安装座(3)上的滚轮驱动机构。

2.根据权利要求1所述的一种基于滚轮夹持驱动的晶圆定位校准装置，其特征在于，所述的气缸驱动机构包括水平设置在固定板(1)侧面的线性滑轨(2)以及设置在固定板(1)侧面并与马达安装座(3)传动连接的夹持气缸(6)，所述的马达安装座(3)的一端与线性滑轨(2)的滑块固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种基于滚轮夹持驱动的晶圆定位校准装置，其特征在于，所述的夹持气缸(6)与马达安装座(3)之间设有气缸轴连接板(7)，所述的夹持气缸(6)的气缸轴通过气缸轴连接板(7)与马达安装座(3)相连。

4.根据权利要求1所述的一种基于滚轮夹持驱动的晶圆定位校准装置，其特征在于，所述的滚轮驱动机构包括竖直设置在马达安装座(3)上的步进马达(4)以及设置在步进马达(4)顶部并与步进马达(4)传动连接的滚轮(5)。

5.根据权利要求4所述的一种基于滚轮夹持驱动的晶圆定位校准装置，其特征在于，所述的滚轮(5)包括与步进马达(4)的马达轴固定连接的滚轮圆台部(501)以及设置在滚轮圆台部(501)顶部的滚轮圆柱部(502)，所述的滚轮圆台部(501)的顶部与滚轮圆柱部(502)的底部之间开设有滚轮槽口(503)。

6.根据权利要求5所述的一种基于滚轮夹持驱动的晶圆定位校准装置，其特征在于，所述的滚轮圆台部(501)的外径由上而下逐渐增大，所述的滚轮圆台部(501)的底面外径大于滚轮圆柱部(502)的外径，所述的滚轮圆台部(501)的顶面外径小于滚轮圆柱部(502)的外径。

7.根据权利要求1所述的一种基于滚轮夹持驱动的晶圆定位校准装置，其特征在于，所述的晶圆缺口校准机构包括设置在固定板(1)侧面的光纤座(11)以及设置在光纤座(11)上的光纤传感器(12)。

8.根据权利要求7所述的一种基于滚轮夹持驱动的晶圆定位校准装置，其特征在于，所述的光纤座(11)包括上光纤座及下光纤座，所述的光纤传感器(12)为对射型光纤传感器，包括光纤发射端及光纤接收端，所述的光纤发射端、光纤接收端分别设置在上光纤座、下光纤座上。

9.根据权利要求1所述的一种基于滚轮夹持驱动的晶圆定位校准装置，其特征在于，所述的平移限位机构包括设置在固定板(1)侧面并与其中一个马达安装座(3)相适配的限位块(10)。

10.根据权利要求9所述的一种基于滚轮夹持驱动的晶圆定位校准装置，其特征在于，所述的平移限位机构还包括设置在固定板(1)侧面并与另一个马达安装座(3)相适配的缓冲组件，该缓冲组件包括设置在固定板(1)侧面的缓冲器安装座(8)以及设置在缓冲器安装座(8)上的缓冲器(9)。