[发明专利]一种飞秒激光直写FBG的金属镀膜气压测试方法在审

专利信息
申请号: 202011431475.8 申请日: 2020-12-07
公开(公告)号: CN113029426A 公开(公告)日: 2021-06-25
发明(设计)人: 张雯;祝连庆;何巍;董明利;李红;庄炜;何彦霖 申请(专利权)人: 北京信息科技大学
主分类号: G01L11/02 分类号: G01L11/02;G02B6/02
代理公司: 北京律恒立业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11416 代理人: 王琦;庞立岩
地址: 100085 北京市海淀区清*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 激光 fbg 金属 镀膜 气压 测试 方法
【权利要求书】:

1.一种飞秒激光直写FBG的金属镀膜气压探针制备方法,其特征在于,所述方法具体包括以下步骤:

(a)飞秒激光制备光纤布拉格光栅,

步骤a1、将带涂覆层的单模光纤置于三维移动平台上,保证视野清晰;

步骤a2、将飞秒激光光斑聚焦至所述单模光纤的纤芯上,采用直写方式在所述纤芯区域制备光纤布拉格光栅;

(b)制备光纤气压探针,

步骤b1、采用光纤精密切割设备定位到所述飞秒激光制备的光纤布拉格光栅位置,从所述光栅栅区截至处切断,形成端面;

步骤b2、在所述端面进行压力敏感型金属镀膜,制成光纤气压探针。

2.一种飞秒激光直写FBG的金属镀膜气压测试方法,其特征在于,所述方法具体包括以下步骤:

步骤201、将光纤气压探针置于密闭气室内,通过光纤环行器与光源、光纤传感分析仪相连;

步骤202、改变所述光纤气压探针待测环境内的气体压力,进行气压传感测试;

步骤203、所述光纤环行器将光纤布拉格光栅的反射干涉光谱传输至所述光纤传感分析仪,所述光纤传感分析仪形成反射光谱谱线。

3.根据权利要求2所述的测试方法,其特征在于,所述光源采用波段范围为1520-1610nm的ASE光源。

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