[发明专利]一种真空镀膜加工清洗设备

权利要求书

1.一种真空镀膜加工清洗设备，包括外壳（1），其特征在于：所述外壳（1）内部的上端固定设置有导轨（2），且导轨（2）的两端均延伸至外壳（1）的外部，所述导轨（2）的外部滑动安装有滑动块（3），所述滑动块（3）的下端安装有第一电动推杆（4），所述第一电动推杆（4）的下端固定设置有安装头（5），所述安装头（5）的下端安装有夹持装置（6），所述夹持装置（6）的下端设置有基片（7），所述外壳（1）内部的一侧设置有冲洗腔（8），所述冲洗腔（8）的一侧设置有超声波清洗腔（12），所述超声波清洗腔（12）的下端设置有第一清洗槽（13），所述第一清洗槽（13）的下端设置有换能器（14），且换能器（14）设置有三个，所述换能器（14）的下方安装有超声发生器（15），所述超声波清洗腔（12）的一侧设置有等离子清洗腔（19），所述等离子清洗腔（19）的下方设置有第二清洗槽（20），所述第二清洗槽（20）内部的两侧均安装有石墨阴极（21），所述等离子清洗腔（19）的一侧设置有烘干腔（22），所述烘干腔（22）的一侧设置有防尘处理腔（27），所述防尘处理腔（27）的内部转动安装有放卷辊（29），且放卷辊（29）安装有两个，所述放卷辊（29）的外部设置有防尘膜（31）。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜加工清洗设备，其特征在于：所述安装头（5）的内部固定安装有第一伺服电机（34），所述安装头（5）与夹持装置（6）之间设置有连接块（42），且第一伺服电机（34）的输出端与连接块（42）的上端固定连接，所述连接块（42）与夹持装置（6）的上端通过转轴转动连接，所述夹持装置（6）内部的中间位置处设置有固定座（37），所述固定座（37）的两侧均转动安装有丝杠（36），所述夹持装置（6）的两侧均安装有第二伺服电机（35），且第二伺服电机（35）的输出轴与丝杠（36）的一端通过联轴器传动连接，所述丝杠（36）的外部安装有夹板（38），且夹板（38）与丝杠（36）通过螺纹配合，所述夹板（38）的内侧与基片（7）相贴合。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜加工清洗设备，其特征在于：所述冲洗腔（8）内部的两侧均设置有集水管（9），且集水管（9）设置有两个，所述集水管（9）的一侧均固定安装有清洁液喷头（10），且清洁液喷头（10）安装有五个，所述集水管（9）的一侧均安装有毛辊（11），所述毛辊（11）与外壳（1）通过轴承转动连接，所述清洁液喷头（10）与毛辊（11）呈间隔分布。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜加工清洗设备，其特征在于：所述第一清洗槽（13）的外部均设置有支撑弹簧（40），支撑弹簧（40）设置有若干个，且第一清洗槽（13）与外壳（1）通过支撑弹簧（40）固定连接，所述第一清洗槽（13）的内部设有水基清洗剂，所述第一清洗槽（13）上端的边缘固定设置有挡板（18）。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜加工清洗设备，其特征在于：所述第二清洗槽（20）的内部设有电解液。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜加工清洗设备，其特征在于：所述第一清洗槽（13）和第二清洗槽（20）的一侧均安装有液体浓度传感器（41），且液体浓度传感器（41）的检测端分别延伸至第一清洗槽（13）和第二清洗槽（20）的内部，所述第一清洗槽（13）和第二清洗槽（20）下端的一侧均设置有排液口（16），所述第一清洗槽（13）和第二清洗槽（20）下端的另一侧均设置有进液管（39），所述排液口（16）与进液管（39）的外部均安装有电控阀门，所述第一清洗槽（13）和第二清洗槽（20）的外部均设置有水泵（17），所述水泵（17）的一端与进液管（39）相连通，且液体浓度传感器（41）与水泵（17）电性连接。

7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜加工清洗设备，其特征在于：所述烘干腔（22）内部的两侧均设置有烘干孔（23），且烘干孔（23）设置有五个，所述烘干腔（22）的底部固定设置有集液盘（24），所述集液盘（24）的上端呈环形阵列开设有若干丙酮喷头（25），所述烘干腔（22）的下端设置有储液罐（26），且储液罐（26）与集液盘（24）通过连接管密封固定。

8.根据权利要求1所述的一种真空镀膜加工清洗设备，其特征在于：所述防尘处理腔（27）的底部设置有输送机构（28），所述输送机构（28）上端的两侧均转动安装有张力辊（30），所述放卷辊（29）之间安装有第二电动推杆（32），且第二电动推杆（32）与外壳（1）通过螺栓固定，所述第二电动推杆（32）的下端固定设置有压板（33）。