[发明专利]一种溅射旋转靶材矫直装置

说明书

本发明公开了一种溅射旋转靶材矫直装置，涉及旋转靶材加工技术领域，为解决现有溅射旋转靶材矫直装置一次只能对一件靶材进行矫直，效率较低的问题。所述底座的上表面的四周均安装有防护壳体，所述防护壳体的前端设置有进料口，且进料口设置有三个，所述防护壳体的后端设置有出料口，且出料口设置有三个，所述防护壳体的内部设置有下输送辊，下输送辊设置有九个，且三个一组阵列分布在底座的上表面，相邻所述下输送辊之间通过第一联动杆传动连接，所述下输送辊的两侧均设置有导向辊，且导向辊设置有八个，所述防护壳体的上端安装有液压缸，且液压缸设置有六个。

技术领域

本发明涉及旋转靶材加工技术领域，具体为一种溅射旋转靶材矫直装置。

背景技术

旋转靶材是磁控的靶材，靶材做成圆筒型的，里面装有静止不动的磁体，以慢速转动。靶材基管的直线度非常重要，不然会导致生产完的靶材无法正常使用，大大增加了工厂成本，浪费人力物力。因此，需要矫直装置对旋转靶材进行矫直。

但是，现有溅射旋转靶材矫直装置一次只能对一件靶材进行矫直，效率较低；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种溅射旋转靶材矫直装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种溅射旋转靶材矫直装置，以解决上述背景技术中提出的现有溅射旋转靶材矫直装置一次只能对一件靶材进行矫直，效率较低的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种溅射旋转靶材矫直装置，包括底座，所述底座的上表面的四周均安装有防护壳体，所述防护壳体的前端设置有进料口，且进料口设置有三个，所述防护壳体的后端设置有出料口，且出料口设置有三个，所述防护壳体的内部设置有下输送辊，下输送辊设置有九个，且三个一组阵列分布在底座的上表面，相邻所述下输送辊之间通过第一联动杆传动连接，所述下输送辊的两侧均设置有导向辊，且导向辊设置有八个，所述防护壳体的上端安装有液压缸，且液压缸设置有六个，所述液压缸的输出端贯穿并延伸至防护壳体的内部，且与防护壳体的连接处安装有直线轴承，相邻所述液压缸的输出端之间通过连接板连接，所述连接板的下方安装有上压辊，上压辊设置有九个，且与下输送辊对位设置，所述上压辊通过辊架与连接板固定连接，相邻所述上压辊之间通过第二联动杆传动连接。

优选的，所述第一联动杆的一端与防护壳体的连接处安装有轴承，所述第一联动杆的另一端贯穿并延伸至防护壳体的外部，且安装有从动链轮，所述防护壳体后端的外壁上安装有第二电机，所述第二电机的输出端上安装有联轴器，所述第二电机的输出端通过联轴器与主动链轮固定连接，所述主动链轮通过链带与从动链轮传动连接。

优选的，所述下输送辊的外壁上安装有支撑架，且下输送辊与支撑架转动连接，所述支撑架与底座的上表面焊接连接。

优选的，所述第二联动杆的一端安装有第一皮带轮，一侧所述辊架的外壁上安装有第一电机，所述第一电机的输出端上安装有第二皮带轮，所述第二皮带轮通过皮带与第一皮带轮传动连接。

优选的，所述导向辊的内部安装有支柱，且导向辊与支柱的上端转动连接，所述支柱的下端与底座焊接连接。

优选的，所述底座的下表面安装有减震块，且减震块设置有八个。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、本发明通过上压辊和下输送辊的压合传动作用，实现旋转靶材的矫直工作，因上压辊和下输送辊均设置有三组，所以能够同时对三件旋转靶材进行矫直处理，工作效率高，因上压辊和下输送辊的两侧均设置有导向辊，在输送过程中能够引导靶材前进，所以不用担心靶材偏移矫直路线的情况发生。

2、通过利用第一电机、皮带传动机构以及第二联动杆的传动作用，带动三个上压辊同步旋转，利用第二电机、链带传动机构以及第一联动杆的传动作用，带动九个下输送辊同步运转，与现有装置相比，在效率提升三倍的同时，利用联动机构尽可能的减小能源消耗，达到节能高效的作用。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；