[发明专利]一种高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法在审
申请号: | 202011427500.5 | 申请日: | 2020-12-09 |
公开(公告)号: | CN112326692A | 公开(公告)日: | 2021-02-05 |
发明(设计)人: | 朱永迁;张冲;侯建伟;曹志强;权立振;朱猛 | 申请(专利权)人: | 蚌埠中光电科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/958 | 分类号: | G01N21/958;G01N21/01;G01N1/28 |
代理公司: | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) 34113 | 代理人: | 陈俊 |
地址: | 233000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 世代 玻璃 微波 在线 测量方法 | ||
本发明公开一种高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法,包括以下步骤:a、沿玻璃基板的浮法流向,将玻璃基板分隔标记成一组取样矩形块,取样矩形块按照矩形阵列分布;b、每个取样矩形块的中心线作为取样线,取样线与浮法流向垂直;c、采用光学微波纹度检查机对玻璃基板所有的取样线进行扫描,每个取样线的微波纹度代表对应取样矩形块的微波纹度;d、计算所有取样矩形块微波纹度的平均值,该平均值作为玻璃基板的微波纹度平均值;所有取样矩形块中的最大微波纹度,作为玻璃基板的最大微波纹度;所有取样矩形块中的最小微波纹度,作为玻璃基板的最小微波纹度;该方法能够在线、且无损地对玻璃基板的微波纹度进行全面测量,测量效率高,准确度高。
技术领域
本发明涉及玻璃基板检测技术领域,具体是一种高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法。
背景技术
浮法工艺生产的玻璃基板垂直于浮法方向存在微波纹,玻璃制造过程需检测微波纹度以分级,玻璃面加工后需检测微波纹度以验证面加工质量。现有手段一般垂直于浮法玻璃流向取一条玻璃带用于抽测微波纹度和粗糙度。使用探针仪扫描取样玻璃带中线得到垂直与浮法流向一条线的微波纹度数值。因探针仪扫描的长度局限,扫描前通常根据探针仪的扫描长度把玻璃带切割成一组样品,样品1、样品2、样品3等。
现有的微波纹度检测手段存在如下的局限性:
1、抽测样本量数量少。只能抽测某一个时间点或某个点的检测数据,不能如实反应整板玻璃的微波纹度。
2、抽测样本长度小。抽测时使用探针扫描法检测微波纹度,测试样本不大于50cmx50cm,扫描长度≤20cm,只能测量1小段的平面度,不可知整板的微波纹度。
3、抽测过程需要对玻璃做破坏性实验,导致不能过多抽检玻璃。
4、抽测使用探针扫描法检测微波纹度,测试时间长,等到测试结果出来,可能已经产生很多不良品。
发明内容
本发明的目的在于提供一种高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法,该方法能够在线、且无损地对玻璃基板的微波纹度进行全面测量,测量效率高,准确度高。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法,包括以下步骤:
a、沿玻璃基板的浮法流向,将玻璃基板分隔标记成一组取样矩形块,取样矩形块按照矩形阵列分布;
b、每个取样矩形块的中心线作为取样线,取样线与浮法流向垂直;
c、采用光学微波纹度检查机对玻璃基板所有的取样线进行扫描,每个取样线的微波纹度代表对应取样矩形块的微波纹度;
d、计算所有取样矩形块微波纹度的平均值,该平均值作为玻璃基板的微波纹度平均值;所有取样矩形块中的最大微波纹度,作为玻璃基板的最大微波纹度;所有取样矩形块中的最小微波纹度,作为玻璃基板的最小微波纹度。
进一步的,每个取样线采用取样线的中点坐标进行定义。
本发明的有益效果是,舍弃传统的对玻璃基板进行切割破坏的方法,将玻璃基板标记分隔成一组取样矩形块,然后对每个取样矩形块采用光学微波纹度检查机进行测量,测量的样本极大地提高,能够全面地对玻璃基板的微波纹度进行测量,且为无损非接触式测量,提高测量的精度和准确性,并且效率高。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明:
图1是本发明的示意图。
具体实施方式
如图1所示,本发明提供一种高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法,包括以下步骤:
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