[发明专利]一种Au/Ni-BHT异质结导电MOFs薄膜材料及其可控制备方法

权利要求书

1.一种Au/Ni-BHT异质结导电MOFs薄膜材料的可控制备方法，其特征在于，其通过调控Au/Ni比进行制备，具体步骤如下：

步骤1：将掩模版用聚酰亚胺胶带粘在清洗干净的硅片上，再放到真空镀膜机内，蒸镀金电极，蒸镀结束后，去除掩膜版；

步骤2：称取1.0~1.5 mg的六巯基苯加入到20 mL的氯代苯溶液中，超声混合至完全溶解后，得到六巯基苯的氯代苯溶液；将10 mg 镍盐、0~1mg 金盐和20ml的水超声混合至完全溶解，制得金属盐的混合水溶液；

步骤3：将步骤1中蒸镀上金电极的硅片放在匀胶机上，用移液枪移取200 μL金属盐的混合水溶液均匀的滴在硅片上，然后用移液枪移取200 μL六巯基苯的氯代苯溶液滴加在金属盐的混合水溶液上方，使其完全覆盖，再静置1~3 min使其发生反应，然后启动匀胶机，将表面未反应的溶液甩飞，待匀胶机停止转动后，取下硅片，放入真空干燥箱中真空干燥，得到Au/Ni-BHT异质结导电MOFs薄膜材料。

2.根据权利要求1所述的可控制备方法，其特征在于，步骤1中，硅片的清洗干净方法如下：

首先用洗涤精对硅片进行清洗，随后依次用去离子水、乙醇和丙酮进行超声清洗，并烘箱中干燥；接着将干燥后硅片放入体积比为2:1的浓硫酸/双氧水混合溶液中，除去表面残留的杂质，再依次用去离子水、乙醇、丙酮进行超声清洗，最后用氮气将硅片表面的液体吹干。

3.根据权利要求1所述的可控制备方法，其特征在于，步骤1中，金电极的厚度为20 -40nnm。

4.根据权利要求1所述的可控制备方法，其特征在于，步骤2中，镍盐为氯化镍，金盐为氯化金。

5. 根据权利要求1所述的可控制备方法，其特征在于，步骤3中，匀胶机的工作程序如下：先在50 r/min的转速下转动10 s，再在2000 r/min的转速下转动60 s。

6.根据权利要求1所述的可控制备方法，其特征在于，步骤3 中，真空干燥温度为55-65℃，干燥时间为8~20min。

7.一种根据权利要求1~6之一所述的可控制备方法制得的Au/Ni-BHT异质结导电MOFs薄膜材料。