[发明专利]计算机可读介质

权利要求书

1.一种计算机可读介质，所述计算机可读介质上记录有指令，所述指令配置成使计算机系统至少：

获得关于来自设计布局的一部分的热点的信息，所述设计布局将由器件制造过程处理到衬底上；

针对所述热点确定所述器件制造过程的处理参数的取值范围，其中在所述处理参数的值位于所述取值范围以外时，使用所述器件制造过程从所述热点形成缺陷；

获得所述处理参数的实际值；

使用所述实际值确定或预测使用所述器件制造过程从所述热点形成的缺陷的存在、存在概率、特性或从其中选择的组合。

2.根据权利要求1所述的计算机可读介质，其中，配置成使计算机系统确定或预测缺陷的存在、存在概率、特性或从其中选择的组合的所述指令进一步被配置成使计算机系统使用所述热点的特性、所述设计布局的特性或这两者来确定或预测缺陷的存在、存在概率、特性或从其中选择的组合。

3.根据权利要求1所述的计算机可读介质，其中，所述指令还配置成使计算机系统使用缺陷的存在、存在概率、特性或从其中选择的组合来调整或补偿所述处理参数。

4.根据权利要求3所述的计算机可读介质，其中，所述指令还配置成使计算机系统使用对于所述处理参数的调整或补偿来确定或预测使用所述器件制造过程从所述热点形成的残余的缺陷的存在、存在概率、特性或从其中选择的组合。

5.根据权利要求4所述的计算机可读介质，其中，所述指令还配置成使计算机系统至少部分地基于所述残余的缺陷的所确定或预测的存在、存在概率、特性或从其中选择的组合来指示是否将检验所述热点。

6.根据权利要求5所述的计算机可读介质，其中，所述指令还配置成使计算机系统对使用所述器件制造过程形成在衬底上的热点进行检验。

7.根据权利要求1所述的计算机可读介质，其中，所述指令还配置成使计算机系统至少部分地基于使用所述器件制造过程从所述热点形成的缺陷的所确定或预测的存在、存在概率、特性或从其中选择的组合来指示是否将检验所述热点。

8.根据权利要求7所述的计算机可读介质，其中，所述指令还配置成使计算机系统对使用所述器件制造过程形成在衬底上的热点进行检验。

9.根据权利要求1所述的计算机可读介质，其中，配置成使计算机系统获得关于热点的信息的所述指令还配置成使计算机系统使用经验模型或计算模型来识别所述热点。

10.根据权利要求9所述的计算机可读介质，其中，所述热点使用所述设计布局的所述部分的图案相对于所述处理参数的敏感度来识别。

11.根据权利要求1所述的计算机可读介质，其中所述处理参数是从以下各项中选出的任意一个或多个：实际衬底台位置和/或倾斜度、实际掩模版台位置和/或倾斜度、聚焦、剂量、照射参数、投影光学装置参数、根据量测获得的数据，和/或来自所述器件制造过程中使用的处理设备的操作员的数据。

12.根据权利要求1所述的计算机可读介质，其中，配置成使计算机系统确定或预测缺陷的存在、存在概率、特性或从其中选择的组合的所述指令进一步被配置成使计算机系统在所述处理参数下模拟所述热点的图像或预期的图案化轮廓并确定图像或轮廓参数。

13.根据权利要求1所述的计算机可读介质，其中，配置成使计算机系统获得关于热点的信息的所述指令还配置成使计算机系统识别其位置。

14.根据权利要求1所述的计算机可读介质，其中，所述缺陷在所述衬底被不可逆转地处理之前是不可检测的。