[发明专利]一种MEMS加速度计的高精度温度补偿方法

说明书

本发明涉及惯性传感器技术领域，特别涉及一种MEMS加速度计的高精度温度补偿方法。本发明提供一种新的MEMS加速度计的高精度温度补偿方法，该MEMS加速度计的高精度温度补偿方法对MEMS加速度计在温度变化时造成的偏差进行了很好的补偿，有效的提高了测量精度，更加符合工程应用；不需要价格高昂的温控转台，也不需要非常精准的位置，可以进行批量作业，且能够实现全温全位置的补偿，有效提高补偿后的精度，间接实现了对标度因数的标定。

技术领域

本发明涉及惯性传感器技术领域，特别涉及一种MEMS加速度计的高精度温度补偿方法。

背景技术

MEMS(MICro EleCTRo Mechanical Systems)加速度计就是使用MEMS技术制造的加速度计，其需要使用温度转台进行标定以对温度误差进行补偿，但是温度转台的价格高昂，使用成本较高；《一种MEMS加速度计温度补偿方法》《一种MEMS陀螺仪高阶温度补偿的方法》中只是对零点偏移做了温度的补偿，存在一定的误差。

发明内容

为了解决现有技术中存在的问题，本发明提供一种新的MEMS加速度计的高精度温度补偿方法。

本发明具体技术方案如下：

本发明提供一种MEMS加速度计的高精度温度补偿方法，包括如下步骤：

S1：计算MEMS加速度计在当前温度下基于拟合公式模型的加速度修正量δ；

S2：将当前温度下MEMS加速度计输出的加速度值修正到室温温度下；

S3：求得MEMS加速度计在室温温度下的标度因数以及零点偏移；

S4：根据标度因数以及零点偏移计算真实的加速度值。

一种计算机程序产品，包括计算机程序，其特征在于，该计算机程序被处理器执行时实现上述任一项所述方法的步骤。

一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该计算机程序被处理器执行时实现上述所述方法的步骤。

本发明的有益效果如下：

本发明提供一种新的MEMS加速度计的高精度温度补偿方法，该MEMS加速度计的高精度温度补偿方法对MEMS加速度计在温度变化时造成的偏差进行了很好的补偿，有效的提高了测量精度，更加符合工程应用；不需要价格高昂的温控转台，也不需要非常精准的位置，可以进行批量作业，且能够实现全温全位置的补偿，有效提高补偿后的精度，间接实现了对标度因数的标定。

附图说明

图1为本发明中MEMS加速度计的高精度温度补偿方法的流程图；

图2为本发明中步骤S1中拟合公式模型构建方法的流程图；

图3为本发明中步骤S13的流程图。

具体实施方式

下面结合附图和以下实施例对本发明作进一步详细说明。

本发明提供一种MEMS加速度计的高精度温度补偿方法，如图1所示，包括如下步骤：

S1：计算MEMS加速度计在当前温度下基于拟合公式模型的加速度修正量δ；

S2：将当前温度下MEMS加速度计输出的加速度值修正到室温温度下；

S3：求得MEMS加速度计在室温温度下的标度因数以及零点偏移；

S4：根据标度因数以及零点偏移计算真实的加速度值。