[发明专利]一种基于链式触发的设备制程时间监控管理方法及系统

说明书

本发明涉及一种基于链式触发的设备制程时间监控管理方法及系统，所述时间监控管理方法包括：产品进入设备后根据制程过程中所有动作事件的先后顺序进行制程，当前一组时间监控模块收到对应动作事件的结束事件且未触发监控报警，则将前一组时间监控模块收到的结束事件作为下一组时间监控模块的开始事件；并根据这种链式触发模式进行后续监控进程直到最后一组监控模块收到结束事件，则表示完成当前产品的整体完整制程的时间监控本发明通过在产品制程过程中的每个动作事件都进行时间监控管理，无论处于设备的任何机构上发生暂停执行的异常，都能被即时发现并触发警报，极大地提高了设备制程中监控管理的准确性，降低了产品报废率和工厂的产能损失。

技术领域

本发明涉及设备制程管理技术领域，尤其涉及一种基于链式触发的设备制程时间监控管理方法及系统。

背景技术

半导体和面板工程设备制程时，产品由人员或者自动化传送系统搬送到设备上，设备将产品传输到其内部的不同工艺腔体进行制程；在此期间，由于设备自身异常原因，产品进入设备后可能在其内部的任何机构上发生暂停执行的异常情况；由此需要有专门的系统对工程内的设备进行制程时间的监控管理，防止设备因长时间暂停执行相关制程，而导致产品报废或者工厂产能的损失。因此，如何对设备制程过程中进行时间监控管理，是目前需要解决的问题。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的缺点，提供了一种基于链式触发的设备制程时间监控管理方法及系统，解决了目前设备制程过程中存在的问题。

本发明的目的通过以下技术方案来实现：一种基于链式触发的设备制程时间监控管理方法，所述时间监控管理方法包括：

产品进入设备后根据制程过程中所有动作事件的先后顺序进行制程，当前一组时间监控模块收到对应动作事件的结束事件且未触发监控报警，则将前一组时间监控模块收到的结束事件作为下一组时间监控模块的开始事件；并根据这种链式触发模式进行后续监控进程直到最后一组监控模块收到结束事件，则表示完成当前产品的整体完整制程的时间监控。

所述时间监控管理方法还包括：收集设备在制程过程中上报的所有动作事件，对每个动作事件设定一组时间监控模块，根据不同动作事件设定不同的制程时长上下限范围，并定义每组时间监控模块对应动作事件的结束事件。

所述时间监控管理方法还包括：将产品进入设备的第一个动作事件作为第一组监控模块的开始事件，并由此开始事件触发第一组时间监控模块的监控进程。

所述时间监控管理方法还包括：根据不同配方工艺下产品在不同时间监控模块的制程时间历史数据的分析结果，自动更新调节每组时间监控模块中设定的对应动作事件制程的时长上下限范围，并当产品在对应时间监控模块内制程时间超过时长上下限时，立刻进行报警提示并定位到对应的动作事件。

一种基于链式触发的设备制程时间监控管理系统，它包括对设备在制程过程中的每个动作事件设定的一组时间监控模块；每组时间监控模块内根据对应动作事件的制程时长不同设定有不同的时长上下限范围，用于监控产品在进行对应动作事件的制程时是否超过设定的时长上下限范围，并在接收到该动作事件的结束事件且未触发监控报警后将该结束事件作为下一组时间监控模块的开始事件。

还包括定义模块和报警模块；所述定义模块用于定义每组时间监控模块对应动作事件的结束事件；所述报警模块用于当产品在对应时间监控模块内制程时间超过时长上下限时，立刻进行报警提示。

还包括更新模块，所述更新模块用于根据不同配方工艺下产品在不同时间监控模块的制程时间历史数据的分析结果，自动更新调节每组时间监控模块中设定的对应动作事件制程的时长上下限范围。

本发明具有以下优点：一种基于链式触发的设备制程时间监控管理方法及系统，通过在产品制程过程中的每个动作事件都进行时间监控管理，无论处于设备的任何机构上发生暂停执行的异常，都能被即时发现并触发警报，极大地提高了设备制程中监控管理的准确性，降低了产品报废率和工厂的产能损失。