[发明专利]一种三氯化铁含铜蚀刻废液提铜再生方法

权利要求书

1.一种三氯化铁含铜蚀刻废液提铜再生方法，其特征在于，包括：

S010、将蚀刻废液转入搅拌还原缸中，加入铁粉，将Fe³⁺还原为Fe²⁺；

S011、待反应结束后，过滤，得到高铜氯化亚铁溶液，所述高铜氯化亚铁溶液的溶液组分控制在Cu²⁺％2－6％，TFe％8－15％，Fe³⁺＜1％；

S012、将高铜氯化亚铁溶液与低铜氯化亚铁槽的低铜氯化亚铁混合后导入电解槽阴极室，所述电解槽阴极室的进出料口与低铜氯化亚铁槽的进出料口通过管道连接，并建立有液相循环系统；电解，使铜离子在阴极板上沉积得到铜板；

S013、电解槽阳极室的进出料口与低铜三氯化铁槽的进出料口通过管道连接，并建立有液相循环系统；

S014、电解槽阳极室的阳极液来自于尾气吸收塔的低铜氯化亚铁和低铜三氯化铁槽的低铜三氯化铁的混合液；电解，得到高ORP的三氯化铁溶液；

S015、混配：将电解阳极出来的高OPR三氯化铁溶液与步骤S11中得到的高铜三氯化铁溶液按一定的比例混合，混合出适合蚀刻线要求的再生蚀刻液。

2.如权利要求1所述的一种三氯化铁含铜蚀刻废液提铜再生方法，其特征在于：S010中铁粉的加入量根据蚀刻废液的中Fe³⁺含量，按摩尔比n(Fe³⁺)：n(Fe)＝(2－3)：1的比例加入。

3.如权利要求2所述的一种三氯化铁含铜蚀刻废液提铜再生方法，其特征在于：S012中电解反应条件为电流密度1.5－2.5ASD，温度20－50℃。

4.如权利要求3所述的一种三氯化铁含铜蚀刻废液提铜再生方法，其特征在于：在S012中电解槽阴极室的回流管道上设置有ORP检测仪，回流管控制ORP：300mv－500mv，Cu²⁺＜1％。

5.如权利要求4所述的一种三氯化铁含铜蚀刻废液提铜再生方法，其特征在于：在S013中电解槽阳极室的回流管道上设有ORP检测仪，回流管控制ORP：ORP 800mv－1100mv，Cu²⁺＜1％，TFe：8％－15％。

6.如权利要求5所述的一种三氯化铁含铜蚀刻废液提铜再生方法，其特征在于：在S015中高OPR三氯化铁溶液与高铜三氯化铁溶液按体积比(3－10)：1，再生蚀刻液的出液标准为：ORP：500－1000mv，Fe²⁺＜1％，TFe：8％－14％，Cu²⁺＜2％。

7.如权利要求1－6任一项所述的一种三氯化铁含铜蚀刻废液提铜再生方法，其特征在于：所述的低铜氯化亚铁、低铜三氯化铁为Cu²⁺＜1％的溶液。

8.如权利要求1－6任一项所述的一种三氯化铁含铜蚀刻废液提铜再生方法，其特征在于：所述电解槽阳极室的设有阳极盒，所述阳极盒两面安装有阴离子膜与阴极室分隔开，阳极盒内安装有一个镀层阳极板，在阳极盒的底部采用正对阳极板喷射进液及空气鼓泡的方式进气，以增强阳极液在阳极板上的传质速度。

9.如权利要求8所述的一种三氯化铁含铜蚀刻废液提铜再生方法，其特征在于：所述阳极盒的底部设有进气槽，所述进气槽上设有若干曝气口，所述阳极盒的侧壁上设有与所述进气槽连通的进气口；所述阳极盒的底部设有进液管，所述进液管上开设有若干个出液口，所述阳极盒侧壁上设有与所述进液管连通的进液口。

10.如权利要求9所述的一种三氯化铁含铜蚀刻废液提铜再生方法，其特征在于：所述进液管的位置高于所述进气槽的位置。