[发明专利]一种用于定量分析痕量尿素的方法及装置

说明书

本发明属于水质分析技术领域，具体的说是一种定量分析痕量尿素的方法及装置，其中定量分析痕量尿素的方法包括以下步骤：S1进水先经过注射泵P1和流量传感器F1；S2进水进入预处理单元后，依次进入紫外分解器A和有机吸附器B；S3经过预处理的进水通过蠕动泵W打入微量进样器C；S4进样时，试样溶液将与载水混合，然后进入检测单元；S5载水进入检测单元分析尿素浓度；根据本发明的痕量尿素定量分析方法和装置，可以准确测量半导体/液晶面板厂超纯水制备原水或产水的尿素浓度，且该方法具有准确度高、精密度高和装置集成化程度高的优点。

技术领域

本发明属于水质分析技术领域，具体的说是一种定量分析痕量尿素的方法及装置。

背景技术

超纯水是半导体/液晶面板厂产品生产必备的一种辅材，水质要求颇高。超纯水的制备原水基本来自市政自来水，市政自来水通过预处理系统、制成系统、抛光系统多级处理得到超纯水，用于半导体/液晶面板厂产品生产。

市政自来水中有时会掺入痕量尿素，浓度一般为50～200ppb，换算成TOC仅10～40ppb；而超纯水制备系统对尿素的去除能力有限，最终造成产水TOC超标，影响生产良率，给半导体/液晶面板厂造成巨大经济损失。现有的超纯水系统设计时会在原水端设置尿素去除单元，但业主会为了降低运行费用，减少实际运行时间；待产水TOC超标，再启动尿素去除单元，这种做法仍然会带来一定经济损失。即使在原水端设置TOC仪表，痕量尿素的掺入也不会引起TOC的巨大波动；若有对痕量尿素的线上监测，及时运行尿素去除单元，便可避免经济损失。

现有关于尿素的检测技术文献如下：

专利文献1：201711338043.0；采用分光光度测量方法，利用二乙酰一肟和安替比林试剂与尿素反应的原理，设置样品杯、取样多通阀、清洗多通阀、第一机械臂单元和第二机械臂单元等部件，分析水样中尿素含量。但该方法使用部件体积大，设备集成化程度不高，进样繁琐，检测周期长达52min以上，实用性较差，不符合纯水系统的连续检测要求。

专利文献2：201810341217.7；以中性红指示剂和待测样品以及聚乙二醇混合溶液为内水相，以脲酶和葡聚糖混合溶液为外水相，通过微流控制装置分析尿素含量，操作成本较低，单个样品检测仅需10～20秒，但该方法仍然无法用于纯水制备原水的检测，这是因为酶促反应在反应物浓度较低时，酶效果有限，实际使用效果不佳。

专利文献3：201880021497.1；通过使用二乙酰一肟的比色测定法对样品水中的尿素进行定量的方法，特别地，对用于反应的试剂进行冷藏。但二乙酰一肟并非只与尿素反应显色，与其代谢产物瓜氨酸反应也有显色，此种测量方法并不能排除瓜氨酸的影响；且该方法检测原理精度有限，检测下限为0.1ppm，无法检测更低痕量尿素，多用于游泳池等场所，并不适合纯水制备原水的尿素检测。

由上述内容可知，现有技术存在检测原理精度有限，无法测量痕量尿素，以及设备进样自动化和集成化程度不高的问题；本发明鉴于上述问题，目的在于提供一种定量分析痕量尿素的方法及装置。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提供一种痕量尿素定量分析方法及装置，利用流动注射分析技术和高级氧化技术定量分析制备原水或产水的尿素浓度，根据本发明的目的，提供了一种用于定量分析痕量尿素的方法，其方法包括以下步骤：

S1进水先经过注射泵P1和流量传感器F1；

S2进水进入预处理单元后，依次进入紫外分解器A和有机吸附器B；

S3经过预处理的进水通过蠕动泵W打入微量进样器C；

S4进样时，试样溶液将与载水混合，然后进入检测单元；

S5载水进入检测单元分析尿素浓度。