[发明专利]一种单晶硅直拉炉用炭/炭拼接保温筒及其制造方法在审
申请号: | 202011388212.3 | 申请日: | 2020-12-01 |
公开(公告)号: | CN112626608A | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
发明(设计)人: | 张灵玉;程皓;韩李煜;苏超;张亚超;周元龙;马亨;汪志虎;邢如鹏 | 申请(专利权)人: | 西安超码科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06;C23C16/26;C23C16/56;C04B41/87 |
代理公司: | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人: | 马小燕 |
地址: | 710065 陕西省西安市高新区锦*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 直拉炉用炭 拼接 保温 及其 制造 方法 | ||
1.一种单晶硅直拉炉用炭/炭拼接保温筒,其特征在于,包括N片炭/炭弧瓣,所述N片炭/炭弧瓣相邻之间通过榫卯连接结构且沿着圆周方向环绕炭/炭拼接保温筒的轴心线连接,其中,N为不小于2的正整数,相邻之间的炭/炭弧瓣榫卯连接部位上均设置有M个炭/炭销钉,所述N片炭/炭弧瓣的一侧均设置有榫头,另一侧均设置有榫槽。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅直拉炉用炭/炭拼接保温筒,其特征在于,所述M为2~100。
3.一种制造如权利要求1或权利要求2所述的单晶硅直拉炉用炭/炭拼接保温筒的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:
步骤一、制备炭/炭弧瓣;
步骤二、制备炭/炭销钉;
步骤三、将步骤一制备的炭/炭弧瓣的榫头装入相邻炭/炭弧瓣的榫槽中,使得相邻之间的炭/炭弧瓣沿圆周方向环绕炭/炭拼接保温筒的轴心线之间通过榫卯接头连接,然后在每个相邻之间的炭/炭弧瓣榫卯连接部位上均安装步骤二中制备的炭/炭销钉进行固定,得到炭/炭拼接保温筒坯体;
步骤四、在步骤三中得到的炭/炭拼接保温筒坯体的内、外表面上制备涂层,然后进行纯化处理,得到炭/炭拼接保温筒。
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,步骤一中所述炭/炭弧瓣由炭/炭复合材料方料经机加工获得,或者炭/炭复合材料弧瓣坯料经机加工获得。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述炭/炭复合材料弧瓣坯料由弧瓣状炭纤维预制体经增密工艺制备得到,且炭/炭复合材料弧瓣坯料的密度不小于1.0g/cm3;所述增密工艺为化学气相渗透或/和液相浸渍致密。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述弧瓣状炭纤维预制体的制备方法为纤维缠绕、布袋卷绕、炭布/网胎铺层针刺和3D编织中的一种或两种以上,且弧瓣状炭纤维预制体的密度不小于0.35g/cm3。
7.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,步骤二中所述炭/炭销钉由炭/炭复合材料方料经机加工获得,且炭/炭复合材料方料的密度不小于1.40g/cm3。
8.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,步骤四中所述涂层的制备方法为化学气相沉积、等离子喷涂或反应烧结。
9.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,步骤四中所述纯化处理的方法为高温纯化或卤素纯化。
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