[发明专利]一种蚀刻液再生循环利用过程中氨氮废水的环保排放方法

权利要求书

1.一种蚀刻液再生循环利用过程中氨氮废水的环保排放方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S1、氨氮废水的收集、除杂：将蚀刻液再生循环利用过程中产生的氨氮废水先收集在储液槽中，通过过滤除去氨氮废水中的杂质；

步骤S2、废水处理：将经过步骤S1处理得到的氨氮废水投入净化装置中，向其中加入废水处理剂，搅拌均匀后，向净化装置中曝光、曝气；

步骤S3、沉降、过滤：将经过步骤S2处理后的废水依次经过沉降、过滤后，取滤液；向滤液中加水稀释，调节PH在6-8之间；

步骤S4、纳滤膜处理：在经过步骤S3处理的废水经过纳滤膜处理后，透过纳滤膜的废水直接排放；纳滤膜截留液则旋蒸浓缩得到化学品。

2.根据权利要求1所述的一种蚀刻液再生循环利用过程中氨氮废水的环保排放方法，其特征在于，步骤S2中所述氨氮废水、废水处理剂的质量比为100:(2-5)。

3.根据权利要求1所述的一种蚀刻液再生循环利用过程中氨氮废水的环保排放方法，其特征在于，步骤S2中所述废水处理剂是由如下按重量份计的如下各组分制成：二氧化钛量子点3-6份、稀土氧化物1-3份、烷氧基硅改性4,4',4”-(苯-1,3,5-三基三(乙炔-2,1-二基))三苯胺3-5份、磷酸钠2-5份、海泡石粉1-3份。

4.根据权利要求3所述的一种蚀刻液再生循环利用过程中氨氮废水的环保排放方法，其特征在于，所述稀土氧化物为钇、镧、铈、镨、钕、钐、钆或铽的氧化物。

5.根据权利要求3所述的一种蚀刻液再生循环利用过程中氨氮废水的环保排放方法，其特征在于，所述烷氧基硅改性4,4',4”-(苯-1,3,5-三基三(乙炔-2,1-二基))三苯胺的制备方法，包括如下步骤：将硅烷偶联剂KH560、4,4',4”-(苯-1,3,5-三基三(乙炔-2,1-二基))三苯胺加入到有机溶剂中，在70-80℃下搅拌反应6-8小时，后旋蒸除去溶剂，得到烷氧基硅改性4,4',4”-(苯-1,3,5-三基三(乙炔-2,1-二基))三苯胺。

6.根据权利要求5所述的一种蚀刻液再生循环利用过程中氨氮废水的环保排放方法，其特征在于，所述硅烷偶联剂KH560、4,4',4”-(苯-1,3,5-三基三(乙炔-2,1-二基))三苯胺、有机溶剂的摩尔比为3:1:(15-25)。

7.根据权利要求5所述的一种蚀刻液再生循环利用过程中氨氮废水的环保排放方法，其特征在于，所述有机溶剂为二甲亚砜、丙酮、四氢呋喃、N,N-二甲基甲酰胺中的任意一种。

8.根据权利要求1所述的一种蚀刻液再生循环利用过程中氨氮废水的环保排放方法，其特征在于，步骤S2中所述曝气的时间为40-60min，曝光时间为1-3小时。

9.根据权利要求1所述的一种蚀刻液再生循环利用过程中氨氮废水的环保排放方法，其特征在于，步骤S3中所述沉降时间为1-3小时。

10.根据权利要求1-9任一项所述的一种蚀刻液再生循环利用过程中氨氮废水的环保排放方法，其特征在于，步骤S4中所述纳滤膜的牌号为SS-NF1-8338-F、SS-NF3-8038-F、SS-NF7-4040-F中的任意一种。