[发明专利]一种通过止逆阀控制的压电陶瓷微泵及其使用方法

权利要求书

1.一种通过止逆阀控制的压电陶瓷微泵，其特征在于，包括壳体，所述壳体的一端设有凹槽，所述凹槽内配合安装有压电陶瓷振子致动器，所述壳体的腔内设有进口阀门与出口阀门，所述壳体的两侧分别设有进口管路与出口管路，所述进口管路与进口阀门连通，所述出口管路与出口阀门连通。

2.根据权利要求1所述的通过止逆阀控制的压电陶瓷微泵，其特征在于，所述进口阀门呈阶梯面设置，出口阀门配合安装于所述进口阀门的台阶处。

3.根据权利要求1所述的通过止逆阀控制的压电陶瓷微泵，其特征在于，所述出口阀门上设有过孔，所述过孔与压电陶瓷振子致动器连通。

4.根据权利要求1所述的通过止逆阀控制的压电陶瓷微泵，其特征在于，所述进口阀门与所述出口阀门通过粘接剂复合，二者通过粘接剂固定在壳体的腔内。

5.根据权利要求1所述的通过止逆阀控制的压电陶瓷微泵，其特征在于，所述压电陶瓷振子致动器由压电陶瓷片和金属基板复合而成,通过粘接剂固定安装在所述壳体的下表面，且所述压电陶瓷振子致动器与所述壳体的下表面紧密贴合。

6.根据权利要求1所述的通过止逆阀控制的压电陶瓷微泵，其特征在于，所述进口阀门与所述出口阀门均为柔性背压式止逆阀，实现单向导通，反向截止,并且由于柔性材料的弹性作用，阀门需要给与开启压力才能打开。

7.根据权利要求1所述的通过止逆阀控制的压电陶瓷微泵，其特征在于，使用方法包括：

当压电陶瓷振子两端施加电源时，压电陶瓷振子在电场作用下径向压缩，内部产生拉应力，从而使压电陶瓷振子致动器弯曲变形；

当压电陶瓷振子致动器正向弯曲时，压电陶瓷振子致动器向下伸长，壳体腔内容积增大，腔内压力减小，复合式柔性背压止逆阀的进口阀门打开，出口阀门则因为腔体内的负压作用而关闭，外界的流体或气体从左侧进口阀门进入泵腔；

当关闭电源时，压电陶瓷振子向上回弹直至恢复水平状态，壳体腔内容积减小，腔内压力增大，进口阀门则受到腔体内的正向压力而关闭，出口阀门则在腔体内正压作用下打开，壳体腔内的流体或气体向右侧出口排出；

往复循环这一过程，流体或气体便形成平缓的连续不断的定向流动。