[发明专利]冲击波传感器的制备方法及冲击波传感器有效

专利信息
申请号: 202011375273.6 申请日: 2020-11-30
公开(公告)号: CN112729525B 公开(公告)日: 2023-09-01
发明(设计)人: 冯雪;刘兰兰;陈颖;唐瑞涛 申请(专利权)人: 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学
主分类号: G01H11/08 分类号: G01H11/08;C23C18/30;C23C18/38
代理公司: 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 代理人: 李萌
地址: 314006 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 冲击波 传感器 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种冲击波传感器的制备方法,其特征在于:该方法包括如下步骤:

S1:制备PVDF原溶液,以及制备带电荷的改性分子与PVDF的混合溶液;

S2:使所述PVDF原溶液形成PVDF基层,通过喷墨打印工艺,使所述带电荷的改性分子与PVDF的混合溶液形成第一电极图案层及第二电极图案层,并使所述第一电极图案层及所述第二电极图案层分别位于所述PVDF基层的两个表面上,以形成PVDF材料基体,在形成所述PVDF材料基体时,使所述第一电极图案层及所述第二电极图案层内的改性分子与PVDF形成带电荷的交联网络;

S3:在所述第一电极图案层及第二电极图案层上施加带有电荷的电极催化剂溶液,所述电极催化剂溶液所带电荷的种类与改性分子及PVDF的混合溶液中的电荷的种类相反;

S4:对施加有带电荷的催化剂溶液的PVDF材料基体进行化学镀处理,以使所述第一电极图案层及所述第二电极图案层上形成电极;

S5:将所述PVDF材料基体中的所述第一电极图案层及所述第二电极图案层分别通过引线引出。

2.根据权利要求1所述的冲击波传感器的制备方法,其特征在于:在S1步骤中,带电荷的所述改性分子与PVDF的混合溶液中的电荷由改性分子引入混合溶液。

3.根据权利要求2所述的冲击波传感器的制备方法,其特征在于:所述改性分子所带电荷为正电荷或负电荷,带正电荷的所述改性分子包括丙烯酰氧乙基三甲基氯化铵或甲基丙烯酰氧乙基三甲基氯化铵,带负电荷的所述改性分子包括二[2-(甲基丙烯酰氧基)乙基]磷酸酯、2-(磷酰氧基)乙基丙烯酸酯或2-甲基-2-丙烯酸-2-羟乙基酯磷酸酯。

4.根据权利要求1所述的冲击波传感器的制备方法,其特征在于:在S1步骤中,该方法还包括在所述带电荷的改性分子与PVDF的混合溶液中加入使所述改性分子与所述PVDF形成交联网络的引发剂。

5.根据权利要求4所述的冲击波传感器的制备方法,其特征在于:在所述带电荷的改性分子与PVDF的混合溶液中,以质量百分比计,所述PVDF含量为5-25wt%,所述改性分子含量为0.5-5wt%,所述引发剂含量为0.002-0.02wt%。

6.根据权利要求4所述的冲击波传感器的制备方法,其特征在于:在形成所述第一电极图案层及所述第二电极图案层时,该步骤还包括施加与所述引发剂相适应的改性因素。

7.根据权利要求1所述的冲击波传感器的制备方法,其特征在于:在所述PVDF原溶液中,所述PVDF的含量为8-30wt%。

8.根据权利要求1所述的冲击波传感器的制备方法,其特征在于:在S2步骤中,通过电纺丝或喷墨打印工艺以形成所述PVDF基层。

9.根据权利要求1所述的冲击波传感器的制备方法,其特征在于:所述带有电荷的电极催化剂溶液中的电荷由电极催化剂引入,所述电极催化剂的种类与S4步骤中,引入电极的种类相适应。

10.根据权利要求9所述的冲击波传感器的制备方法,其特征在于:当所述电极的材料为金属铜时,所述电极催化剂为钯催化剂,所述带有电荷的钯催化剂溶液为四氨基二氯化钯溶液或四氯钯酸钠溶液。

11.根据权利要求1所述的冲击波传感器的制备方法,其特征在于:在进行S3步骤时,该方法包括:

将S2步骤中的所述PVDF材料基体浸入带有相反种类电荷的所述电极催化剂溶液中;

取出所述PVDF材料基体,并进行清洗;在进行S4步骤时,该方法包括:

将施加有带电荷的电极催化剂溶液的所述PVDF材料基体放入化学镀反应液中,进行化学镀;

取出进行化学镀后的PVDF材料基体,并对其进行清洗;

对PVDF材料基体进行烘干处理。

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