[发明专利]大口径光学元件辅助装调方法有效

专利信息
申请号: 202011373149.6 申请日: 2020-11-30
公开(公告)号: CN112558318B 公开(公告)日: 2021-09-28
发明(设计)人: 安其昌;吴小霞;林旭东;王建立;陈涛;李洪文 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G02B27/62 分类号: G02B27/62
代理公司: 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 代理人: 高一明;郭婷
地址: 130033 吉林省长春*** 国省代码: 吉林;22
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 口径 光学 元件 辅助 方法
【说明书】:

发明提供了一种大口径光学元件辅助装调方法,通过对比各种波前传感方式,选择曲率传感,一种非干涉非迭代的波前检测手段进行波前矫正和反馈;结合机械臂的多自由度,可迭代的空间运动功能。利用像差空间与机械臂关节空间的映射关系,结合灵敏度矩阵解算出机械臂的移动量,从而实现对大口径光学元件的大动态范围、高精度的测速度的装调。

技术领域

本发明涉及一种大口径光学元件装调领域,特别涉及一种大口径光学元件辅助装调方法。

背景技术

机器人学的蓬勃发展,极大的丰富了大口径望远镜的加工与装配手段。不论在地面实验室,还是在太空中,机器人都承担了越来越多的装调检测任务。一般来说,透镜装调方式多采用推出、推入等简单的往复运动,装调的自由度少,虽然这种方式稳定易控制,但尺寸较大、通用性差且无法面向多种复杂的运动场景,无法应用于实际偏差大于初始状态的系统设计,具有局限性。

曲率传感器由Roddier在1988年所提出,不同于基于波前斜率的波前传感技术,曲率传感是波前的二阶导数,其与相位分布的联系满足泊松方程。其基本原理是光瞳处波前局部的曲率变化,所对应的焦内像与焦外像的光强分布会发生对应的变化,根据近场电磁波的传输方程,可以解算出波前信息,但采用双向采集的方法会降低系统装调的效率。

发明内容

本发明为了解决现有装调方式无法实现波长级别的测量,本发明从旋量理论出发,利用机械臂的空间运动功能,将待检测波前移动到所需要的位置。利用位于焦面成像元件,结合曲率传感可以判断系统光学元件位置精度是否符合要求,提供一种大口径光学元件辅助装调方法。

为实现上述目的,本发明采用以下具体技术方案:

一种大口径光学元件辅助装调方法,其特征在于,包括:

将机械臂夹持的光学元件置入子系统的入射光轴,选取合适位置,保证主镜光斑落在探测器的可探测到范围内;

利用位于子系统焦点处的探测器上单侧离焦星点像的变化,确定探测器与子系统同轴;

利用曲率传感获得单侧离焦星点像的波前信息,结合灵敏度矩阵建立像差空间与机械臂关节空间的映射关系AΔD=ΔZ(1),并以此解算获得的机械臂的移动量ΔD,对机械臂进行调整;其中,A为灵敏度矩阵、ΔZ为单侧离焦星点像图各项指标系统变化量;

具体解算过程如下:

其中u1…uN为各关节的转动量、P为单侧离焦星点像的周长、W为单侧离焦星点像的二阶矩、e为单侧离焦星点像信息熵、c为沿两个方向的光强相关度;

对A进行奇异值分解,A=UΣVT

其中,∑=diag(λ12,…,λl)为A的奇异值,U、V为分解得到的两个酉矩阵;

优选地,利用曲率传感获得所述像差空间的所述单侧离焦星点像的波前信息。

优选地,利用单侧离焦星点像周长P表征离焦程度,其求解表达式为:

其中,Nx为水平轮廓的像元数,Ny为竖直轮廓的像元数,Nxy为斜方向的像元数,周长P为这些像元数的加权总和。

优选地,利用椭圆的长轴l方向表征单侧离焦星点像像散的方向,用椭圆长轴l与短轴w的比获得单侧离焦星点像像散的大小E,其求解表达式为:

E=l/w (3)。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202011373149.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top