[发明专利]一种物体成分均匀性的测定装置和测定方法有效

专利信息
申请号: 202011372129.7 申请日: 2020-11-30
公开(公告)号: CN112557345B 公开(公告)日: 2022-03-11
发明(设计)人: 郭文平;关淙元;夏珉;李微;杨克成 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: G01N21/41 分类号: G01N21/41;G01N21/01
代理公司: 武汉华之喻知识产权代理有限公司 42267 代理人: 王世芳;曹葆青
地址: 430074 *** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 物体 成分 均匀 测定 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种物体成分均匀性的测定装置,其特征在于,其包括激光源、扩束镜、波片、聚焦物镜、棱镜、电动式载物台组件、偏光显微镜、带通滤波片、物镜和滤光镜筒,其中,

扩束镜设置在激光源的出射方向上,聚焦物镜设置在扩束镜出射光方向上,波片设置在扩束镜和聚焦物镜之间,棱镜设置在聚焦物镜出射光方向上,棱镜的纵截面为梯形,棱镜的下底面用于设置待测样品,棱镜的顶面上悬置有偏光显微镜,通过顶面拍摄样品表面的偏光成像,聚焦物镜出射光对准棱镜的一个侧面,光束由聚焦物镜汇聚于棱镜下底面,物镜镜头对准棱镜的另一个侧面,用于接收从棱镜出射的反射光,滤光镜筒设置在物镜的出射光方向上,滤光镜筒内设置有可调针孔和偏振片,在滤光镜筒和物镜之间设置有带通滤波片,

待测样品设置在电动式 载物台组件上,电动式载物台组件能够实现沿X方向、Y方向以及Z方向移动,还能实现旋转,以带动待测样品按照预期位置在三维空间移动并实现样品旋转,从而完成对整个待测样品各个区域的成分均匀性测定,

还包括相机和计算机,相机与计算机相连,相机用于接收滤光镜筒的出射光并成像,计算机用于提取暗界限位置,判断折射率模式,计算对应的折射率、双折射率,并通过与电动式载物台组件的同步,完成对样品表面上每一个点的测量。

2.如权利要求1所述的一种物体成分均匀性的测定装置,其特征在于,所述激光源为红外激光源。

3.如权利要求2所述的一种物体成分均匀性的测定装置,其特征在于,所述聚焦物镜为无限共轭物镜,通过无限共轭方式成像,

电动式 载物台组件包括XY位移平台、旋转台和升降台,XY位移平台设置在旋转台上,旋转台设置在升降台上,

所述XY位移平台上设置了弹簧片,对于薄片状的样品,弹簧片用于将样品压紧于台面上。

4.如权利要求3所述的一种物体成分均匀性的测定装置,其特征在于,所述棱镜的材质为高折射率的光学玻璃、蓝宝石晶体、红宝石晶体或氧化锆,其折射率大于1.7。

5.如权利要求4所述的一种物体成分均匀性的测定装置,其特征在于,工作时,纵截面为梯形的棱镜底面与待测样品薄片相贴合,在贴合形成的缝隙处设置有折射率油,折射率油的折射率具有介于棱镜折射率和样品折射率之间。

6.如权利要求5所述的一种物体成分均匀性的测定装置,其特征在于,还包括视觉成像相机,其与计算机相连,视觉成像相机用于接收偏光显微镜图像,并通过计算机获取样品表面形状、解理特征,以辅助成分均匀性测定,

工作时,通过电动式载物台组件的移动,图像特征的提取、多幅图像的拼接,形成完整的表面视觉图像,结合每一个点的折射率测量,完成折射率分布图,根据折射率判断成分均匀性。

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