[发明专利]二维材料化学沉积冷却系统

权利要求书

1.一种二维材料化学沉积冷却系统，包括制冷机（1）、加热模块固定板（2）、冷却盘孔（21）、加热模块（3）、热传感器（4）、第一三通（5）、第二三通（6）、冷却介质输出主管（71）、冷却介质输入主管（72）、冷却盘管（73）、冷却介质输入支管（74）与冷却介质输出支管（75）；

其特征是：所述加热模块固定板（2）呈竖直设置，在加热模块固定板（2）的外侧设有制冷机（1），制冷机（1）内设有冷却介质，在加热模块固定板（2）的正面固定有加热模块（3），在加热模块固定板（2）上安装有热传感器（4），热传感器（4）与制冷机（1）相连，在加热模块固定板（2）的背面设有冷却盘管（73），在加热模块固定板（2）内设有冷却盘孔（21）；

所述制冷机（1）的出口与冷却介质输出主管（71）的进口相接，冷却介质输出主管（71）的出口与第一三通（5）的进口相接，第一三通（5）的第一出口与冷却盘管（73）的进口相接，冷却盘管（73）的出口与第二三通（6）的第一进口相接；

第一三通（5）的第二出口与冷却介质输入支管（74）的进口相接，冷却介质输入支管（74）的出口与冷却盘孔（21）的进口相接，冷却盘孔（21）的出口与冷却介质输出支管（75）的进口相接，冷却介质输出支管（75）的出口与第二三通（6）的第二进口相接；

第二三通（6）的出口与冷却介质输入主管（72）的进口相接，冷却介质输入主管（72）的出口与制冷机（1）的进口相接。

2.根据权利要求1所述的二维材料化学沉积冷却系统，其特征是：在所述加热模块固定板（2）的正面固定有两个或者两个以上的加热模块（3）。

3.根据权利要求1所述的二维材料化学沉积冷却系统，其特征是：所述冷却介质为气态冷却介质或者液态冷却介质。

4.根据权利要求1所述的二维材料化学沉积冷却系统，其特征是：所述冷却盘孔（21）的进口设置在上方、其出口设置在下方。

5.根据权利要求1所述的二维材料化学沉积冷却系统，其特征是：所述冷却盘管（73）的进口设置在上方、其出口设置在下方。