[发明专利]差分电容麦克风及其制作方法

权利要求书

1.一种差分电容麦克风，包括振动膜(3)，其特征在于，

所述振动膜(3)包括层叠设置的振膜层(31)和导电层(32)；

所述振膜层(31)的材质为聚合物；

所述导电层(32)的电导率大于所述振膜层(31)的电导率。

2.根据权利要求1所述的差分电容麦克风，其特征在于，所述导电层(32)的材质选自金属、导电银浆、金属型碳管和碳纳米管中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的差分电容麦克风，其特征在于，所述聚合物为聚二甲基硅氧烷和聚甲基丙烯酸甲酯中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的差分电容麦克风，其特征在于，所述差分电容麦克风还包括第一衬底(1)，与所述振动膜(3)连接构成第一电容结构；

第二衬底(2)，与所述振动膜(3)连接构成第二电容结构，所述第一电容结构与所述第二电容结构形成差分电容结构。

5.根据权利要求4所述的差分电容麦克风，其特征在于，所述导电层(32)在所述振膜层(31)边缘预设位置具有凸起的导线连接块(301)，所述第一衬底(1)上具有与所述凸起的导线连接块(301)相适配的凹槽，所述第一衬底(1)与所述振动膜(3)通过所述凹槽与所述凸起的导线连接块(301)连接；

或，所述导电层(32)在所述振膜层(31)边缘预设位置具有凹槽，所述第一衬底(1)上具有与所述凹槽相适配的凸起的导线连接块(301)，所述第一衬底(1)与所述振动膜(3)通过所述凹槽与所述凸起的导线连接块(301)连接。

6.根据权利要求5所述的差分电容麦克风，其特征在于，所述第一衬底(1)具有第一背板(11)、第一支撑部(12)及第一背腔(13)，所述第一背板(11)通过所述第一支撑部(12)支撑，且所述第一背板(11)与所述第一支撑部(12)之间形成所述第一背腔(13)；

所述第二衬底(2)具有第二背板(21)、第二支撑部(22)及第二背腔(23)，所述第二背板(21)通过所述第二支撑部(22)支撑，且所述第二背板(21)与所述第二支撑部(22)之间形成所述第二背腔(23)。

7.根据权利要求6所述的差分电容麦克风，其特征在于，所述振动膜(3)设置于所述第一衬底(1)及所述第二衬底(2)之间，且所述振动膜(3)通过所述第一背腔(13)与所述第一背板(11)相对设置，通过所述第二背腔(23)与所述第二背板(21)相对设置。

8.根据权利要求6所述的差分电容麦克风，其特征在于，所述第一背板(11)与所述第二背板(21)上均具有释放孔，所述振膜上具有声孔，所述释放孔与所述声孔错位布局。

9.一种差分电容麦克风制作方法，其特征在于，包括：

形成振动膜(3)，在硅片(100)表面设置振膜层(31)，所述振膜层(31)的材质为聚合物；

在所述振膜层(31)上设置导电层(32)，并对所述导电层(32)进行图形化，所述导电层(32)的电导率大于所述振膜层(31)的电导率。

10.根据权利要求9所述的差分电容麦克风制作方法，其特征在于，

所述形成振动膜(3)的步骤包括，形成在所述振膜层(31)边缘预设位置具有凸起的导线连接块(301)，或，形成在所述振膜层(31)边缘预设位置的凹槽。