[发明专利]一种离子束沉积设备的冷却辊

权利要求书

1.一种离子束沉积设备的冷却辊，包括中空的辊体(1)，其特征在于，所述辊体(1)由外至内依次包括表面导电层(101)、绝缘导热层(102)以及冷却腔(103)，所述表面导电层(101)携带负电荷，所述辊体(1)还包括支撑轴部(104)，所述支撑轴部(104)与所述绝缘导热层(102)固定；

所述冷却腔(103)中设置有第一冷却盘管(4)，所述第一冷却盘管(4)内循环通入、排出冷却流体，或者在所述冷却腔(103)内设置固体冷却介质，所述第一冷却盘管(4)的外管壁与所述绝缘导热层(102)接触，所述第一冷却盘管(4)包括第一冷却流体入口(401)以及第一冷却流体出口(402)，所述第一冷却流体入口(401)及所述第一冷却流体出口(402)均设置于支撑轴部(104)上，且所述第一冷却流体入口(401)及所述第一冷却流体出口(402)沿所述辊体(1)的轴线方向朝所述辊体(1)外设置。

2.根据权利要求1所述的离子束沉积设备的冷却辊，其特征在于，所述冷却腔(103)中还设置有与导热内轴(105)，所述导热内轴(105)与所述绝缘导热层(102)固定，所述第一冷却盘管(4)卷绕于所述导热内轴(105)的外壁上。

3.根据权利要求2所述的离子束沉积设备的冷却辊，其特征在于，所述导热内轴(105)为实心结构。

4.根据权利要求2所述的离子束沉积设备的冷却辊，其特征在于，所述导热内轴(105)为中空结构。

5.根据权利要求4所述的离子束沉积设备的冷却辊，其特征在于，所述导热内轴(105)内设置有第二冷却盘管(5)，所述第二冷却盘管(5)的外管壁与所述导热内轴(105)的内壁接触。

6.根据权利要求1-5任一项所述的离子束沉积设备的冷却辊，其特征在于，所述辊体(1)外还设置有带电辊(2)，所述带电辊(2)与电源负极连接，所述带电辊(2)的外沿与所述表面导电层(101)抵接。

7.根据权利要求1所述的离子束沉积设备的冷却辊，其特征在于，所述支撑轴部(104)外套设有转动轴承(301)。

8.根据权利要求1、2、3、4、5或7所述的离子束沉积设备的冷却辊，其特征在于，所述表面导电层(101)为光滑的金属层，所述绝缘导热层(102)为陶瓷层。

9.根据权利要求8所述的离子束沉积设备的冷却辊，其特征在于，所述绝缘导热层(102)为陶瓷层，所述陶瓷层的厚度为b，1mm＜b＜100mm。