[发明专利]测定用气密箱、气密装置、测定系统及测定装置

权利要求书

1.一种测定用气密箱，所述测定用气密箱用于在内部配置由设置于外部的测定装置测定的试料，其特征在于，具备：

框体，所述框体的内部为中空且具有用于与手套箱连结的连结部；

试料台，所述试料台具有试料的装填部；及

测定用窗，所述测定用窗设置于所述框体且用于利用所述测定装置从外部测定装填于所述试料台的试料，

通过将所述框体的连结部与并设于外部的手套箱连结，从而构成为该框体的内部与手套箱的内部连通，并且上述框体及手套箱的各内部成为气密状态。

2.根据权利要求1所述的测定用气密箱，其特征在于，

包括搬运台，所述搬运台设置在所述框体内并用于搬运所述试料台，

所述搬运台构成为将所述试料台的搬运轨道延长至与所述框体连结的手套箱的内部。

3.根据权利要求2所述的测定用气密箱，其特征在于，

在所述框体的内部设定测定位置，并且，

所述测定用气密箱具备试料位置调整机构，所述试料位置调整机构将装填于所述试料台的试料定位于所述测定位置。

4.根据权利要求1所述的测定用气密箱，其特征在于，

具备与所述框体的内部连通的配管，

构成为将所述配管至少连接于真空吸引泵和非活性气体供给源中的任一方。

5.根据权利要求1所述的测定用气密箱，其特征在于，

在所述测定装置是X射线分析装置且构成为通过所述测定用窗射入射出X射线的测定用气密箱中，

所述框体由遮蔽X射线的材料形成，

所述测定用窗由使X射线透射的材料形成。

6.根据权利要求5所述的测定用气密箱，其特征在于，

具备将X射线从所述框体内向所述手套箱内的侵入遮蔽的X射线遮蔽构件。

7.一种气密装置，其特征在于，

具备权利要求1～6中任一项所述的测定用气密箱和与该测定用气密箱的所述框体连结的手套箱，

构成为连通的上述框体及手套箱的各内部形成气密状态。

8.根据权利要求7所述的气密装置，其特征在于，

所述手套箱具备封闭构件，所述封闭构件将与所述框体的内部连通的开口部封闭，将该手套箱的内部从所述框体的内部分隔而形成为气密状态。

9.一种测定系统，其特征在于，

具备权利要求7所述的气密装置和所述测定装置，构成为通过所述测定用窗利用所述测定装置测定装填于所述试料台的试料。

10.一种测定系统，其特征在于，

具备权利要求8所述的气密装置和所述测定装置，构成为通过所述测定用窗利用所述测定装置测定装填于所述试料台的试料。

11.一种测定系统，所述测定系统包括测定装置和气密装置，其特征在于，

所述气密装置具备权利要求3所述的测定用气密箱和与该测定用气密箱的所述框体连结的手套箱，构成为连通的上述框体及手套箱的各内部形成气密状态，

并且，所述测定装置具备控制部，所述控制部用于输出对所述试料位置调整机构进行控制用的控制信号，

通过所述测定用窗利用所述测定装置测定装填于所述试料台的试料。

12.根据权利要求9所述的测定系统，其特征在于，

所述测定装置是具备测角计的X射线分析装置，

所述测定系统具备将所述测定用气密箱固定并定位于所述测角计的定位构件。

13.根据权利要求10所述的测定系统，其特征在于，

所述测定装置是具备测角计的X射线分析装置，

所述测定系统具备将所述测定用气密箱固定并定位于所述测角计的定位构件。