[发明专利]一种梯形梳齿、静电梳齿驱动器及MEMS扫描镜在审
| 申请号： | 202011343335.5 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN112255781A | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 郭俊兴;杜先鹏;金传广 | 申请（专利权）人： | 苏州小优智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京金硕果知识产权代理事务所(普通合伙) 11259 | 代理人： | 郝晓霞 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 梯形 梳齿 静电 驱动器 mems 扫描 | ||
1.一种梯形梳齿，其特征在于，所述梯形梳齿的根部宽度大于头部宽度，且所述梯形梳齿的宽度从梯形梳齿根部到梯形梳齿头部单调减小。
2.根据权利要求1所述的一种梯形梳齿，其特征在于，所述梯形梳齿的形状为梯形。
3.根据权利要求1所述的一种梯形梳齿，其特征在于，所述梯形梳齿的形状为等腰梯形，所述梯形梳齿的根部处的梯形底角角度为85°～89.95°。
4.一种静电梳齿驱动器，包括运动梳齿阵列和固定梳齿阵列，其特征在于，所述运动梳齿阵列和固定梳齿阵列均由数个权利要求1至3任一项所述的梯形梳齿组成。
5.根据权利要求4所述的一种静电梳齿驱动器，其特征在于，所述运动梳齿阵列与固定梳齿阵列位于同一平面内，所述运动梳齿阵列与固定梳齿阵列的梯形梳齿交错排布，且相邻梯形梳齿之间的间隙为0.5μm～20μm。
6.根据权利要求4所述的一种梳齿驱动器，其特征在于，所述运动梳齿阵列与固定梳齿阵列之间具有高度差，所述运动梳齿阵列与固定梳齿阵列的梯形梳齿交错排布，且相邻梯形梳齿之间的间隙为0.5μm～20μm。
7.一种MEMS扫描镜，其特征在于，包括反射镜、梳齿驱动器、连接所述反射镜与梳齿驱动器的扭转轴、带有空腔的硅基底，梳齿驱动器为权利要求5或6所述的静电梳齿驱动器，所述静电梳齿驱动器驱动反射镜在硅基底的空腔内转动。
8.根据权利要求7所述的一种MEMS扫描镜，其特征在于，所述静电梳齿驱动器位于扭转轴的两侧，且分别位于扭转轴两侧的静电梳齿驱动器关于扭转轴对称排布。
9.根据权利要求7所述的一种MEMS扫描镜，其特征在于，所述反射镜上设有光学反射膜层。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州小优智能科技有限公司，未经苏州小优智能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202011343335.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
